Gebraucht LAM RESEARCH 9400 SE #9226497 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 SE ist eine hochmoderne Ätzer-Ascher-Ausrüstung für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen. LAM RESEARCH 9400SE ist eine Mehrkammer-Einheit, die überlegene Wafer-Handhabung und Wiederholbarkeit für überlegene Leistung bietet, so dass es eines der zuverlässigsten und vielseitigsten Systeme zur Verfügung. Der Kern von 9400 SE sind die Wafer-Ätzascher, die eine Vielzahl von Optionen aufweisen können, wie induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) und reaktives Ion Etch (RIE). Die Standardkomponenten von 9400SE bieten effiziente und fortschrittliche Ätz- und Aschefunktionen sowohl über abwechselnde als auch über einzelne Prozesszyklen. Unterstützung der wichtigsten Ätz-/Aschemodule sind eine Vielzahl von Mechanismen, die außergewöhnliche Wafer Handhabung und Sicherheit gewährleisten. LAM RESEARCH 9400 SE verfügt über ein dreiachsiges Wafer-Bewegungsmodul, das genaue und wiederholbare Waferbewegungen in X-, Y- und Θ-Achsen ermöglicht. Die Bewegung wird durch hochauflösende Schrittmotoren angetrieben und präzise durch ein Rückkopplungssystem gesteuert. Das Gerät ist auch mit einer Lastschloßmaschine ausgestattet, die ein schnelles Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. Der Innendruck des Werkzeugs kann entsprechend den anwendungstechnischen Anforderungen eingestellt werden. LAM RESEARCH 9400SE ist mit einer breiten Palette von Sicherheitsmerkmalen konzipiert. Dazu gehört ein integrierter Restgasanalysator, der den Ätz-/Ascheprozess überwacht, um Kontaminationen und mögliche Schäden an Wafer und Prozesskammer zu minimieren. Die Anlage ist auch mit automatisierten Fehlererkennungs- und Reparatursystemen ausgestattet, die eine Echtzeit-Fehlererkennung und -Reparatur ermöglichen. Schließlich ist 9400 SE für den Reinraumbetrieb konzipiert, mit fortschrittlichen elektrostatischen Abschirmmaterialien, die eine konstante Umgebung mit geringer ionisierender Strahlung, EMF und EMI gewährleisten. 9400SE erfüllt die hohen Sicherheitsanforderungen aller Arten von Spanproduktionsprozessen und bietet auf Waferebene eine überlegene gleichmäßige Ätzung und thermische Gleichmäßigkeit. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften, hoher Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit eignet sich dieses Modell ideal für eine Vielzahl von Wafer-Ätz- und Ascheprozessen. Mit überlegener Leistung, Zuverlässigkeit und Sicherheit ist LAM RESEARCH 9400 SE ein leistungsstarkes Werkzeug für die Bearbeitung und Produktion von Wafern.