Gebraucht LAM RESEARCH 9400 SE #9230784 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 SE
ID: 9230784
Etcher.
LAM RESEARCH 9400 SE ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher für den Einsatz in der Halbleiterproduktion. Seine hohe Gleichmäßigkeit und Genauigkeit, gepaart mit seiner modularen Architektur, machen es zu einem idealen Werkzeug für kritische Ätzanwendungen. LAM RESEARCH 9400SE verfügt über zwei unabhängige Prozesskammern, die im parallelen Plattendesign konfiguriert sind und eine gleichzeitige Verarbeitung mehrerer Substrate in verschiedenen Größen ermöglichen. Die Platte kann manuell oder programmgesteuert eingestellt werden, um die Ätzgleichförmigkeit über das gesamte Substrat zu optimieren. 9400 SE verfügt auch über LAM RESEARCH proprietäre TO- DELTA™-Technologie, die eine automatische, dynamische Kontrolle des Plasmas ermöglicht, um Ätzgleichmäßigkeit, Planarität und Durchsatz zu verbessern. Eine intuitive Benutzeroberfläche und integrierte Prozessüberwachungsfunktionen sorgen für schnelle und wiederholbare Ätzungen. 9400SE verwendet eine 20 Mikron fokussierte Ionenstrahl-Technologie (FIB) für kritische Ätzanwendungen. Durch die Steuerung von Ionen- und Elektronenstrahlen können Ätzprofil und Ätzrate optimiert werden. Die FIB-Einheit ist auch in der Lage, während des Ätzprozesses verschiedene Ionen in das Substrat zu implantieren. Darüber hinaus sind die mehreren Prozesskammern alle mit massenspektrometrischen Fähigkeiten ausgestattet, die die Analyse von Prozessgasen während des gesamten Ätzprozesses ermöglichen. LAM RESEARCH 9400 SE verfügt auch über eine In-situ-Reinigungsfähigkeit, die eine einfache und schnelle Trümmerentfernung ermöglicht. Das Gerät wird auch durch eine zuverlässige elektrische Stromversorgung unterstützt, die einen sicheren und konsistenten Betrieb des Ätzers/Aschers gewährleistet. Das robuste Design von LAM RESEARCH 9400SE wird durch sein ausgeklügeltes Kühlsystem weiter verbessert, wobei die Effektivität im direkten Verhältnis zur Anzahl der verarbeiteten Substrate steigt. 9400 SE bringt bahnbrechende Innovationen in der Ätzverarbeitung in die Halbleiterindustrie. Seine modulare Plattform unterstützt mehrere Ätzanwendungen und bietet eine kostengünstige kommerzielle Lösung. Die hohe Leistung und Effizienz sind wesentliche Merkmale des Systems und ermöglichen konsistente und wiederholbare Ätzergebnisse. Alles in allem sichert 9400SE höchste Zuverlässigkeit und bietet eine zuverlässige und wiederholbare Ätzverarbeitung.
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