Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #293762518 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 ist ein automatisierter Ätzer und Ascher für metall-organische chemische Dampfabscheidungsprozesse (MOCVD). Es ist in der Lage, Batch- oder Single-Wafer-Verarbeitung bei Temperaturen von -20 ° C bis 475 ° C. Die Fähigkeit der Ausrüstung, bei hohen Temperaturen zu arbeiten, ermöglicht die schnelle und effiziente Abscheidung hochwertiger Materialien. Die große Kammer der Maschine ermöglicht die Bearbeitung von Wafern bis 12 „Durchmesser und bis zu 0,4“ Dicke. 9400 wird von einem fortschrittlichen benutzerfreundlichen System gesteuert, mit einem ergonomischen Design, das es einfach zu bedienen macht. Das Gerät ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie einer Gasüberwachungsmaschine und einer automatischen Entlüftung ausgestattet. Es verwendet eine diffusionsgebundene Pumpkammer, die mit dem Ätz- und Aschevorgang eine verbesserte Leistung bietet. LAM RESEARCH 9400 ist auch mit fortschrittlichen Softwaremodulen ausgestattet, um Prozesse zu automatisieren, Rezepte zu optimieren und Echtzeit-Feedback zu liefern. Das Werkzeug verwendet eine Vielzahl von Ätz- und Aschechemiemischungen, einschließlich Fluorkohlenwasserstoffe, Halogenkohlenwasserstoffe, Kohlenwasserstoffe, Schwefel und Halogene. Es ist auch in der Lage, aseptische Prozesse zu handhaben und ermöglicht eine schnelle Prüfung und Überprüfung der Produktqualität. Das Asset umfasst je nach Anwendung des Kunden zwei oder drei Prozessmodule. Das erste Prozessmodul ist das Ätzgerät, mit dem Quellgase abgelagert, der Wafer gereinigt und der gewünschte Ätz- und Ascheprozess angewendet wird. Dann ist das zweite Prozessmodul der Ascher, und es entfernt eventuelle Rückstände und erleichtert auch die Entfernung von Oberflächenverunreinigungen. Schließlich ist das dritte Modul der Transporter, der den den Wafer bewegenden Wafer zwischen den Prozessmodulen transportiert und sichert. 9400 verfügt über mehrere Betriebsarten, einschließlich dediziertes Ätzen und Aschen, sowie kombiniertes Ätzen/Aschen oder Ätzen/Kompensation. Darüber hinaus umfasst LAM RESEARCH 9400 anspruchsvolle Steuerungs- und Überwachungssysteme zur Überwachung von Temperatur, Druck, Durchfluss und anderen Betriebsparametern. Schließlich ist das Modell die Selbstdiagnose, um Sie auf Probleme und Fehler aufmerksam zu machen und wertvolles Feedback zu geben, um die Prozesseffizienz zu steigern und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu garantieren.