Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #293776309 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 9400 ist ein branchenführender Serienätzer/Ascher mit hohem Durchsatz, der so konzipiert und hergestellt wurde, dass er sehr zuverlässig und robust für die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen ist. Es verfügt über ein kompaktes, Low-Profile-Design mit einer geringen Stellfläche, die die Leistung in jeder Fertigungsumgebung optimiert. Die Ausrüstung ist sehr flexibel und mit einer Reihe von kundenspezifischen Optionen für Hochgeschwindigkeitsätzen und Waferaschen ausgestattet. Dazu gehören eine Auswahl von Prozesskammern und Drucksteuerpaneelen mit bis zu drei Ätzern/Aschen pro Kammer, die Ihnen maximale Prozessfähigkeit in einem System bieten. Es kann für eine Vielzahl von Prozesstechnologien konfiguriert werden, einschließlich Photolackentfernung, Oberflächenplanarisierung, Materialätzen und dielektrischen Ätzen. Das Gerät verwendet die proprietäre LatticePro™ fortschrittliche Steuerungssoftware von LAM, die eine präzise Automatisierung von Ätz- und Ascherezepten sowie erweiterte Datenerfassungs- und Berichtsfunktionen bietet. Die Software wird durch eine Reihe von Rezept- und Prozessmanagement-Tools unterstützt, mit denen Sie schnell wiederholbare und zuverlässige Prozesse entwickeln können. Die Maschine bietet eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich Sicherheitsschalter, Energieüberwachung und Not-Aus-Systeme. Das Werkzeug verwendet auch Vakuumverriegelungen, um die Prozesskammer und die Belastung während des Betriebs zu schützen, was hilft, Risiken zu minimieren und die Prozesstreue zu erhöhen. Darüber hinaus kann das Asset über das Ethernet-Netzwerk der Einrichtung fernüberwacht werden. Das Modell wurde für maximale Leistung konzipiert, mit Hochdurchsatzätzern/Aschen und einer Auswahl an schnellen Wafer-Heizsystemen zur Dotierungsaktivierung und -diffusion. Darüber hinaus ist die Anlage für eine minimale Wartung ausgelegt, mit optimierten Prozesskammerreinigungszyklen und einem Selbstausgleich von Gasdruck und -strömung, wodurch das System sehr zuverlässig und kostengünstig ist. Zusammenfassend ist 9400 ein umfassender und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der auch auf die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen zugeschnitten ist. Es bietet ein hohes Maß an Leistung, Flexibilität und Kosteneffizienz und ist somit eine sehr attraktive Wahl für jede industrielle Fertigung.
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