Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #293814136 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschermaschine, die eine breite Palette fortschrittlicher Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Das System nutzt eine fortschrittliche geschrägte Waferkammerdesign mit einer breiten Palette von On-Board-Ätz- und Aschetechnologien, die schnelle und genaue Ätz-/Ascheprozesse ermöglichen. Das Gerät ist mit einem Quarzkristall Mikrowaagen (QCM) für ausgezeichnete Genauigkeit, schnelle Raten, optimale Gleichmäßigkeit und Ausbeute ausgestattet. Die Maschine verfügt über eine anspruchsvolle PC-basierte Steuerung für eine schnelle und zuverlässige Auftragssteuerung mit einer Reihe von Prozessrezepten für verschiedene Parameter. Das Werkzeug ist für die Verarbeitung von Größen von 2 "bis 200 mm mit jeweils bis zu 100 Wafern ausgelegt. Das Asset nutzt eine Reihe von erweiterten Zubehör, wie dedizierte Messtechnik-Werkzeuge, für verbesserte Prozessergebnisse. 9400 Ätzer/Ascher können verwendet werden, um eine Vielzahl von Ätz-/Ascheprozessen durchzuführen, wie Trockenätzen und Richtungsätzen, wodurch Füll- und Kontaktlöcher mit hohem Seitenverhältnis sowie doppelseitige Verarbeitungsprozesse ermöglicht werden. Das Modell ist für eine breite Palette von Wafer- und Maskenmaterialien geeignet, was eine verbesserte Effizienz und einen höheren Durchsatz ermöglicht. Es ist auch sehr skalierbar, so dass sowohl chargenbasierte als auch einzelne Wafer-Ätz-/Ascheverarbeitung durchgeführt werden können, was kostengünstige Lösungen ermöglicht. Das Gerät kann mit zusätzlichen Gasquellen und einzigartigen mehrstufigen Prozessen ausgestattet werden, was eine optimale Herstellung komplexer Geräte ermöglicht. LAM RESEARCH 9400 wird von der MARK 5500 Software unterstützt, einer leistungsstarken und intuitiven Softwareplattform, die in Kombination mit dem PC-basierten Job Manager eine schnelle und einfache Parametereingabe, Optimierung und Prozesssteuerung ermöglicht. Die integrierte Software bietet auch vordefinierte Ätz-/Ascherezepte für verschiedene Anwendungen sowie Zugriff auf fortgeschrittene Materialdatenbanken. Das System wird ferner mit einer Reihe von Nachbearbeitungsmerkmalen wie Oxidplanarisierung und Passivierung unterstützt, um eine maximale Prozessreproduzierbarkeit zu gewährleisten. Insgesamt ist 9400 eine fortschrittliche Ätz-/Aschereinheit, die für Hochleistungsanwendungen entwickelt wurde. Die Maschine bietet einen robusten und hochgenauen Ätz-/Ascheprozess, optimiert für eine Reihe von Substraten und Anwendungen. Mit seiner umfassenden Support-Software und fortschrittlichen Prozesswerkzeugen ist das Tool eine ideale Wahl für Forschungs- und Produktionsumgebungen.