Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #9006154 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
9400
ID: 9006154
Spare parts: Qty - Part No. Description 10 - 716-038612-002 DC PLUG (9100) 89 - 742-008991-001 GASKET EMI(RECT CROSS SECTION)(1PC=1FT) 1 - 853-330281-001 ASSY RF SENSE BOX UPPER MATCH 2 - 799-432042-204 END EFFECTOR 3 - 799-432042-204 END EFFECTOR 2 - 685-094897-001 20MTORR MANOMETER 3 - 685-094898-001 500MTORR MANOMETER 1 - 660-094652-003 ESC POWER SUPPEY 10 - 796-007305-002 SCREW EIFT PIN 39 - 728-094726-012 SCREW ESC EACLOSURE 3 - 685-095610-001 10TORR MANOMETER 2 - 605-092466-002 OPTIC FIBER 1 - 797-900918-001 HELIUM UPC 50SCCM MFC 2 - 754-092082-002 BALL BEARING VAT 1 - 796-098651-001 HIGH PERFORMANCE VAUUM GREASE10MG 1 - 660-093818-002 BIAS GEN 4.0 MAHZ 2-5KW 1 - 810-441976-002 ASSY PCB 1 - 866-360231-012 PENDULUM VALVE 3 - 605-094988-001 ASSY PCB LASER 1 - 853-492319-001 TM VME 1 - 715-330825-006 LNR,CHMBR,AL,EXTND,ALLI 6 - 715-330180-010 ELCTD,BOT,FXD GAP ESC,LOW TEMP 5 - 734-000663-001 O-RING 1-3/4 ID X 1/8 V 6 - 715-012244-001 SHIELD BELLOWS INNER GATE 6 - 734-009013-001 O-RING 3/4 ID X 1/16 C/S VITO 6 - 734-005633-001 O-RING 1 7/8 X 3/32 51 - 742-007760-001 GASKET,RF (WIRE OVER ELAST)(1PC=1FT) 34 - 734-007461-001 O-RING 5.25 X 5 7/16 X 3/32 6 - 839-330423-001 WLDMT,NUPRO,MANO,ISO 1 - 715-330092-002 COV NUT BOT GAS FEED 6 - 796-095768-001 SHLD,SPLINTER,1K TURBO PMP 5 - 842-093390-040 KIT,REBUILD,LP VLVL 6 - 839-012255-001 BELLOWS INNER GATE 5 - 739-090783-001 CONTACT STRIP COPPER 3 - 734-061280-237 O-RING,VIT 2-237 5 - 796-091775-001 MILLIPORE, WAFERGUARD 2 4 - 734-092561-212 O-RING .139 DIA C/S FSI 35 - 796-000233-002 SEAL CENT. 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LAM RESEARCH 9400 Etcher/Asher ist eine hochmoderne Ausrüstung zum Plasmaätzen/reaktiven Ionenätzen (RIE), die den Anforderungen der Halbleiterherstellung und pharmazeutischen Produktion gerecht wird. Dieses System basiert auf einem mehrachsigen Roboterarm, mit dem Pulver und Flüssigkeit vom Arbeitsbereich weg bewegt und das Substrat belastet wird. Dieser Roboter wird auch verwendet, um den Ätzprozess zu überwachen und die Ressourcen in die richtige Position zum Ätzen zu bringen. Das Gerät umfasst eine Reihe hochpräziser Komponenten wie eine Gleichstrom-Plasmaquelle, eine HF-Quelle zur Plasmaerzeugung, ein HF-Anpassungsnetzwerk zur Leistungsanpassung und einen speziellen Probenhalter. Die Gleichstromquelle liefert induktiv gekoppeltes Plasma zum Ätzen oder Aschen und erzeugt einen konstanten, stabilen Plasmaburst, der zum Ätzen notwendig ist. Die HF-Quelle liefert die für das Ätzen erforderliche Energie, und das HF-Anpassungsnetzwerk optimiert und passt die HF-Leistung auf das erforderliche Niveau an. Der spezielle Probenhalter soll das Substrat während des Ätzens sichern und die Gleichmäßigkeit des Verfahrens gewährleisten. Die Maschine ist hochautomatisiert und kann so programmiert werden, dass mehrere Substrate in einer Reihe und auf verschiedenen Programmen geätzt werden. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Materialien einschließlich Siliziumscheiben, Einkristallquarz und Siliziumdioxid zu ätzen. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, Substrate mit einer maximalen Dicke von 400 Mikron und einer minimalen Größe von 1,5x1,5 mm. Mit seiner hohen Präzision, hohen Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit ist 9400 Etcher/Asher in der Lage, eine Vielzahl von Substraten mit höchster Genauigkeit und Präzision zu verarbeiten. Darüber hinaus hat es sich über einen langen Zeitraum als äußerst zuverlässig erwiesen und hat hohe Lebenszykluskosten. Sein einzigartiges Design ermöglicht eine einfache Wartung und niedrige Betriebskosten. Diese Ressource ist eine ideale Wahl für die Halbleiterherstellung und pharmazeutische Produktion und bietet Anwendern die notwendigen Werkzeuge, um hervorragende Ätzergebnisse zu erzielen.
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