Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #9006154 zu verkaufen
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ID: 9006154
Spare parts:
Qty - Part No. Description
10 - 716-038612-002 DC PLUG (9100)
89 - 742-008991-001 GASKET EMI(RECT CROSS SECTION)(1PC=1FT)
1 - 853-330281-001 ASSY RF SENSE BOX UPPER MATCH
2 - 799-432042-204 END EFFECTOR
3 - 799-432042-204 END EFFECTOR
2 - 685-094897-001 20MTORR MANOMETER
3 - 685-094898-001 500MTORR MANOMETER
1 - 660-094652-003 ESC POWER SUPPEY
10 - 796-007305-002 SCREW EIFT PIN
39 - 728-094726-012 SCREW ESC EACLOSURE
3 - 685-095610-001 10TORR MANOMETER
2 - 605-092466-002 OPTIC FIBER
1 - 797-900918-001 HELIUM UPC 50SCCM MFC
2 - 754-092082-002 BALL BEARING VAT
1 - 796-098651-001 HIGH PERFORMANCE VAUUM GREASE10MG
1 - 660-093818-002 BIAS GEN 4.0 MAHZ 2-5KW
1 - 810-441976-002 ASSY PCB
1 - 866-360231-012 PENDULUM VALVE
3 - 605-094988-001 ASSY PCB LASER
1 - 853-492319-001 TM VME
1 - 715-330825-006 LNR,CHMBR,AL,EXTND,ALLI
6 - 715-330180-010 ELCTD,BOT,FXD GAP ESC,LOW TEMP
5 - 734-000663-001 O-RING 1-3/4 ID X 1/8 V
6 - 715-012244-001 SHIELD BELLOWS INNER GATE
6 - 734-009013-001 O-RING 3/4 ID X 1/16 C/S VITO
6 - 734-005633-001 O-RING 1 7/8 X 3/32
51 - 742-007760-001 GASKET,RF (WIRE OVER ELAST)(1PC=1FT)
34 - 734-007461-001 O-RING 5.25 X 5 7/16 X 3/32
6 - 839-330423-001 WLDMT,NUPRO,MANO,ISO
1 - 715-330092-002 COV NUT BOT GAS FEED
6 - 796-095768-001 SHLD,SPLINTER,1K TURBO PMP
5 - 842-093390-040 KIT,REBUILD,LP VLVL
6 - 839-012255-001 BELLOWS INNER GATE
5 - 739-090783-001 CONTACT STRIP COPPER
3 - 734-061280-237 O-RING,VIT 2-237
5 - 796-091775-001 MILLIPORE, WAFERGUARD 2
4 - 734-092561-212 O-RING .139 DIA C/S FSI
35 - 796-000233-002 SEAL CENT. RING ASSY NW40
13 - 796-000233-005 SEAL, NW 16, CENTERING RING
5 - 734-061280-175 O-RING,VIT,SER2
5 - 734-092561-241 O-RING .139 DIA C/S FSI
10 - 734-092561-260 O-RING .139 DIA C/S FSI
25 - 734-008793-002 O-RING PERFLUORO (GAUGE WALL)
1 - 666-440485-00 PROBE TC J TYPE 2.38 ESC
2 - N-5100-024 BELLOW O-RING
8 - 720-000960-014 SCREW, SHC, UNC-21 1/4-20SST
16 - 720-000942-010 SCREW FLT HD SST 8-32X 5/
2 - 714-011010-001 SCREEN WINDOW
8 - 720-000960-008 SCREW SOC HD SST1/4 20 X 1/
4 - 734-001849-200 EPD POINT O-RING (8.75IDX1/8C/S)
2 - 734-007460-200 VIEW PORT O-RING (7.00IDX2/32C/S)
1 - VT-P205315 S65 DN200 LOCKING SEAL
1 - VT-N5111-374 SO2 46*236 ACTUATOR SEAL
2 - 684-093409-001 CABLE FIBER
1 - 685-094250-001 LASER MODULE IMW
1 - 660-098076-002 ESC DC POWER SUPPLY
12 - 853-331019-001 ASSY,R WDO,QIK CLN,E9400/E9600
12 - 853-331021-001 ASSY,L WDO,QIK CLN,E9400/E9600
20 - 718-098592-001 LOCKING R, HARD ANODIZED
20 - 718-098591-001 PENDULUM PL,HARD ANODIZED
12 - 853-331025-001 ASSY,Q/C,TOP COV,E9400/E9600
4 - 9100 FTS CHILLER
1 - 853-034112-006 ASSY,CA,J-TAPE T/C#8 RING LUG
1 - 660-097567-001 UPS,420VA,120VAC,50/60HZ
3 - 678-460687-001 HEATER CAST WATROD SPECIAL
1 - 853-491746-100 ASSY,DC PWR SUP,PM,TCP OXD
15 - D002010069 VITON O-RING 2-120
2 - 799-550716-001 Fxtr threta home Mag7 Robot
2 - 713-240548-001 ELCTD PTCTR ESC
1 - 518-410240-001 Fixture ALIGN END EFFECTOR
2 - 799-550689-001 Fixture MTGMAG7 ARM
1 - 799-550690-001 CA RS232 MAG7
1 - 515-032639-001 Tool cylinder height Adjust
5 - 515-031765-001 Tool align 4 pin LFTR Bellows
3 - 515-432084-001 ALIGNMTOOL VCE4 ALLI
1 - 002-2082-01 Tool LIPSEAL REMOVAL
1 - 001-5998-01 ASSY Fixture E/R Band TE
6 - 678-097859-003 HTR,V,FAST ACTING,ANGLE,PM
5 - 678-098055-002 HTR,V,ISLN,ANGLE,LOPRO
1 - 716-011624-001 RING INSULATOR LOWER ELECTROD
4 - 853-031556-019 ASSY HEATER CARTRIDGE 75 WATT
1 - 853-031556-019 ASSY HEATER CARTRIDGE 75 WATT
6 - 714-4324-13 BELT TIMING 116 VROOVES
1 - 799-550693R001 RFRB ASSY PCB MCC2A VCE6
1 - 714-015698-001 PNL,FOUP BLANK-OFF,ATM
1 - 853-550012-001 ASSY, DUAL, ARMS, STD
1 - 810-017021-001 ASSY PCB LIFTER FILTER
1 - 644-096863-002 Relay ,SS,Dual ,25A
1 - 715-390129-001 PL,MTG,PENDULUM V
2 - 715-014556-013 GASKET DRILLED VCR .013DIA
1 - 715-390128-001 PL,MTG,ADPTR,PENDULUM V
1 - 839-360109-001 WLDMT,LINE,He,EVAC CHMBR(SE)
1 - 839-360162-001 WLDMT,LINE,He,EVAC AOV9
1 - 734-005637-001 O-RING 6.984 X.139
1 - 715-032012-004 PLATE WINDOW CHAMBER CAPTIVE HDW
1 - 797-900918-003 UPC,UNIT,8130,HOV,ENH FC
1 - 853-330632-016 ASSY HTR CRTG 55W 16"LG
2 - 853-330632-026 ASSY HTR CRTG 55W 26"LG
1 - 853-330632-039 ASSY HTR CRTG 55W 39"LG
1 - 799-550530-001 ASSY WFR ROTB MDL
1 - 739-550096-001 SEAL SFT ROB
1 - 955-028895-003 TBG POLYURETHANE IB 85DUR 3/4
1 - 839-100488-001 WLDMT,VLV, FLTR,VCE VNT, R
4 - 734-550499-001 O-RING,CASS CHMBR
1 - 810-017082-004 ASSY PCB 16 CHAN HTR CNTRL
1 - 853-370702-002 ASSY,HTR CRTG,55W
4 - 716-099277-001 INSUL PL CHAMBER TO VLV
3 - 739-007783-001 O-RING 12.475 ID X .275 CS
1 - 715-011617-002 RING RETAINING
1 - 715-550264-001 FXTR AGV ARM SETUP VCE-4
2 - 713-020033-001 FXTR LEVEING SINGLE AXIS AC
1 - 715-550122-001 TOOL INSNG WRIST BAND
2 - 524-004640-001 FXTR ROBOT HOME POS VTM SCARA
7 - 853-015982-001 ASSY MANUAL CONTROL BOX AUTOTU
1 - 685-491921-001 RMT CONT UNIT
4 - 853-015030-001 ASSY MANUAL CONTROL BOX AUTOTU
5 - 734-061280-279 O-RING VITON 12.984ID
5 - 734-061978-203 O-RING CHEMRAZ SERIES2,-203
5 - 842-092162-001 KIT REBUILD EDWARDS.
LAM RESEARCH 9400 Etcher/Asher ist eine hochmoderne Ausrüstung zum Plasmaätzen/reaktiven Ionenätzen (RIE), die den Anforderungen der Halbleiterherstellung und pharmazeutischen Produktion gerecht wird. Dieses System basiert auf einem mehrachsigen Roboterarm, mit dem Pulver und Flüssigkeit vom Arbeitsbereich weg bewegt und das Substrat belastet wird. Dieser Roboter wird auch verwendet, um den Ätzprozess zu überwachen und die Ressourcen in die richtige Position zum Ätzen zu bringen. Das Gerät umfasst eine Reihe hochpräziser Komponenten wie eine Gleichstrom-Plasmaquelle, eine HF-Quelle zur Plasmaerzeugung, ein HF-Anpassungsnetzwerk zur Leistungsanpassung und einen speziellen Probenhalter. Die Gleichstromquelle liefert induktiv gekoppeltes Plasma zum Ätzen oder Aschen und erzeugt einen konstanten, stabilen Plasmaburst, der zum Ätzen notwendig ist. Die HF-Quelle liefert die für das Ätzen erforderliche Energie, und das HF-Anpassungsnetzwerk optimiert und passt die HF-Leistung auf das erforderliche Niveau an. Der spezielle Probenhalter soll das Substrat während des Ätzens sichern und die Gleichmäßigkeit des Verfahrens gewährleisten. Die Maschine ist hochautomatisiert und kann so programmiert werden, dass mehrere Substrate in einer Reihe und auf verschiedenen Programmen geätzt werden. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Materialien einschließlich Siliziumscheiben, Einkristallquarz und Siliziumdioxid zu ätzen. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, Substrate mit einer maximalen Dicke von 400 Mikron und einer minimalen Größe von 1,5x1,5 mm. Mit seiner hohen Präzision, hohen Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit ist 9400 Etcher/Asher in der Lage, eine Vielzahl von Substraten mit höchster Genauigkeit und Präzision zu verarbeiten. Darüber hinaus hat es sich über einen langen Zeitraum als äußerst zuverlässig erwiesen und hat hohe Lebenszykluskosten. Sein einzigartiges Design ermöglicht eine einfache Wartung und niedrige Betriebskosten. Diese Ressource ist eine ideale Wahl für die Halbleiterherstellung und pharmazeutische Produktion und bietet Anwendern die notwendigen Werkzeuge, um hervorragende Ätzergebnisse zu erzielen.
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