Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #9154664 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 ist ein Etcher/Asher, der von der LAM RESEARCH Corporation entworfen und hergestellt wurde. Es wird zum Ätzen und Aschen von Wafern in der Halbleiterindustrie verwendet. 9400 ist ein vollautomatisches System und umfasst eine Reihe von einzelnen Modulen und Komponenten. Es unterstützt eine breite Palette von Substratmaterialien wie Silizium, Kohlenstoff, Kupfer und Aluminium. Das System ist sowohl in Einkammer- als auch in Mehrkammerkonfigurationen für einen verbesserten Durchsatz für die Großserienfertigung erhältlich. Es kann auch mit zusätzlichen Funktionen, wie integrierten nassen Bänken, angepasst werden, um die spezifischen Anwendungsbedürfnisse des Kunden zu erfüllen. LAM RESEARCH 9400 verfügt über einen integrierten Prozessregler zur Verwaltung von Waferhöhe und -temperatur. Es verwendet eine Vielzahl von Gasarten beim Ätzen und Aschen, wie Argon und Sauerstoff. Es kann in einem einphasigen oder mehrphasigen Modus arbeiten, je nach Kundenanforderungen. Es verfügt über ein automatisiertes Wafer-Handling und kann bis zu 5 Wafer gleichzeitig aufnehmen. 9400 ist für den Reinraumgebrauch konzipiert und soll den strengsten ISO14001 Standards entsprechen. Es kann Partikel mit einer Größe von 0,1 Mikrometer behandeln. Darüber hinaus verfügt es über redundante Filtrations- und Gasreinigungssysteme, um die Erzeugung von Nebenprodukten und Partikeln zu minimieren. LAM RESEARCH 9400 ist für einfache Bedienung konzipiert und verfügt über eine intuitive, befehlsgesteuerte Touchscreen-grafische Benutzeroberfläche. Es verfügt auch über benutzerdefinierte Protokolle und kann so programmiert werden, dass die täglichen Wartungsaufgaben automatisch ausgeführt werden. 9400 ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für die Ätz- und Aschebearbeitung. Das fortschrittliche automatisierte System sorgt für hohe Ausbeute und Qualität der Wafer mit konsistenten Prozessergebnissen. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale gewährleisten die Sicherheit des Bedieners und anderer Mitarbeiter im Reinraum.