Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #9225455 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 ist eine vollautomatisierte Hochleistungs-Ätz- und Aschemaschine für hochpräzises Ätzen und Reinigen von Halbleiterscheiben. 9400 ermöglicht sehr schnelle Prozesszeiten und ist ideal für die Produktion mit hohem Durchsatz. Das System ist mit einer großvolumigen horizontalen Kammer und Quarzgasverteilerplatte aufgebaut, die eine gleichmäßige Plasmaverteilung über die Waferoberfläche ermöglicht. LAM RESEARCH 9400 verfügt zudem über ein modernes RF-Matching-Netzwerk, das höchste Energieeffizienz bietet und eine optimale Plasmagleichförmigkeit gewährleistet. 9400 wurde entwickelt, um die Anzahl der Prozessvariablen zu minimieren und den Ätzdurchsatz für Anwendungen mit tiefer Ätzung und Musterübertragung zu optimieren. Dieses Gerät verwendet auch ein präzisionsgesteuertes elektrostatisches Spannfutter für die automatische Kalibrierung und genaue Waferklemmung. Seine gepulste kapazitive gekoppelte Plasma (PCCP) -Technologie verfügt über eine einzigartige Frequenz-Aktivgassteuerungsmaschine, um einen stabilen Ätzprozess mit hoher Gleichmäßigkeit über mehrere Waferdurchmesser bereitzustellen. Darüber hinaus nutzt LAM RESEARCH 9400 In-situ-Überwachung und zweistufige Eingangsleistungssteuerung, um eine Echtzeit-Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das Tool bietet außerordentlich hohe Plasmaätzraten, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit für kritische Ätzprozesse. Seine erweiterten Überwachungs- und Steuerungsstrategien gewährleisten eine genaue Gleichmäßigkeit des Profils während des Ätzens, auch für das anspruchsvollste Prozessfenster. Das Asset ist zudem hochgradig skalierbar, um die unterschiedlichsten Ätzanwendungen - von kleinen Forschungs- und Entwicklungsaufträgen bis hin zu Serienproduktionsprozessen - aufnehmen zu können. Insgesamt ist 9400 ein branchenführendes Ätzer/Asher-Modell mit fortschrittlichen Funktionen und Funktionen, mit denen Hersteller einen schnelleren Durchsatz, qualitativ hochwertigere Produkte und eine verbesserte Kosteneffizienz erzielen können. Mit seinen fortschrittlichen Steuerungssystemen, der In-situ-Überwachung und dem präzisionsgesteuerten elektrostatischen Futter ist LAM RESEARCH 9400 eine ausgezeichnete Ausrüstung für jeden Bedarf an Halbleiterätzen und -reinigung.