Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #9250094 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine. Es wurde mit modernsten Technologien für optimalen Ertrag und Durchsatz für die Waferbearbeitung entwickelt. Es ist ein kompaktes Hochdurchsatzsystem, das über ein breites Spektrum anwendungsspezifischer Prozesse verfügt. 9400 basiert auf einer skalierbaren Architektur, die maximale Kontrolle und Flexibilität bietet. Es wird von einem Hochleistungs-Ätzalgorithmus angetrieben, der sowohl hohen Durchsatz als auch höchste Genauigkeit erfüllen kann. Die Einheit kann eine breite Palette von Ätzparametern handhaben, mit der Fähigkeit, Ätzraten automatisch anzupassen, um die Prozessleistung über den Wafer gleichmäßig zu halten. LAM RESEARCH 9400 verfügt über einen Niederdruck-zweistufigen vertikalen Plattenätzer. Dadurch entfällt der Bedarf an zusätzlichen Prozesskammern, was eine kompaktere Maschine ermöglicht. Das Tool bietet auch eine erweiterte Ätzquelle, die eine Box-out-Heizung verwendet, die überlegene Leistung und Erträge liefert. 9400 verfügt über eine integrierte Prozessüberwachung, die die Prozess- und Werkzeugintegrität während des gesamten Prozesszyklus gewährleistet. LAM RESEARCH 9400 bietet außerdem einen atmosphärischen Scanner, mit dem Benutzer den Ätzprozess über den Wafer überwachen und steuern können. Mit seinem fortschrittlichen Gasliefermodell kann 9400 genaue und wiederholbare Ätzprofile bereitstellen. Außerdem sichert LAM RESEARCH 9400 repeatable Prozesse durch das Verbinden von Schicht-für-Schicht-Gleichförmigkeitssteuerungen, einschließlich Eigenschaften wie das Zone-für-Zone-Nitridätzen und regulierbare aktuelle Aufrichten. Es ist auch mit fortschrittlicher Stempel-zu-Stempel-Überwachung ausgestattet und bietet eine bessere Prozesskontrolle für höhere Wafererträge. 9400 ist eine leistungsstarke Ätz-/Aschermaschine, die perfekt für die anspruchsvollen Anforderungen der heute führenden Halbleiterproduktionstechnologien geeignet ist. LAM RESEARCH 9400 wurde aus fortschrittlichen Materialien und Technologien entwickelt und ist ein ideales System, um einen hohen Ertrag und Durchsatz für die Waferbearbeitung zu erzielen.