Gebraucht LAM RESEARCH 9400 #9250095 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
9400
ID: 9250095
Wafergröße: 6"
Trench etcher, 6".
LAM RESEARCH 9400 ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um hochpräzise Ätz- und Ablagerungsprozesse durchzuführen. Es ist eine fortschrittliche Ausrüstung, die mehrere Ätzmodi unterstützt, die ein hochpräzises Ätzen mit hoher Selektivität und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Es ist außergewöhnlich vielseitig und bietet zahlreiche Hardware- und Softwarekonfigurationen, die den spezifischen Ätzanforderungen einzelner Projekte entsprechen. 9400 verfügt über ein hochintegriertes Steuerungssystem, das eine benutzerfreundliche Oberfläche bietet, die die Einrichtung und den Betrieb des Ätzprozesses vereinfacht. Das Gerät verfügt über eine Ladeschloßkammer, die es dem Benutzer ermöglicht, Wafer leicht zu be- und entladen, und einen rotierenden Substratträger, der eine mehrrichtende Bewegung des Wafers ermöglicht. Die Kombination aus motorisierter Höhenverstellung und vollständig programmierbarer Ätzrezeptsteuerung mit der Laserinterferometer-Bewegungssteuerung gibt dem Anwender eine präzise Kontrolle über die Ätzleistung. Die Prozessüberwachung und -steuerung wird mit einer Vielzahl dedizierter Prozesssensoren ermöglicht, die direkt in die Maschine eingebettet sind. Diese Sensoren messen Größen wie HF-Leistung, Prozesskammerdruck und Wafertemperatur. Sie helfen, eine konsistente Ätzleistung zu gewährleisten, indem sie Feedback zu Prozessparametern geben und den Benutzer auf unerwünschte Gas- oder druckbezogene Anomalien hinweisen. LAM RESEARCH 9400 verfügt auch über fortschrittliche Sensoren, um Verschmutzungen im Werkzeug zu erkennen. Diese Sensoren verwenden komplexe Algorithmen, um potenzielle Materialabscheidung und korrosiven Aufbau zu erkennen, indem sie Benutzern Echtzeitdaten über die Prozessumgebung zur Verfügung stellen und es ihnen ermöglichen, mögliche Probleme schnell anzugehen. Insgesamt ist 9400 ein großartiges Ätzwerkzeug für fortschrittliches Präzisionsätzen (insbesondere von Materialien wie III-V, HfO2 und SiO2). Es verfügt über eine robuste und integrierte Steuerung, erweiterte Überwachungs- und Steuerungsfunktionen und eine Ladeschloßkammer, die das Be- und Entladen von Wafern einfach macht. Mit der zusätzlichen Haltbarkeit und Länge des Ätzprozesses bei diesem Modell können Anwender sicher sein, dass ihre Projekte in guten Händen sind.
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