Gebraucht LAM RESEARCH 9500 #9399062 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9500 ist ein fortschrittliches Ätz- oder Aschergerät, das ein Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) -Verfahren zum Ätzen und Abscheiden von Filmen verwendet. Dieses System ist in hohem Grade in der Lage, fortschrittliche Filme mit hohen Durchsatzraten zu erzeugen, so dass es ideal für hohe Serienbedürfnisse ist. 9500 PECVD-Einheit bietet einen breiten Betriebstemperaturbereich von Raumtemperatur bis zu hohen Temperaturen von bis zu 500 ° C. Es hat auch eine ausgezeichnete Prozeßgleichförmigkeit, die die Fähigkeit zur konsistenten Schichtdicke mit gleichmäßigen Abscheideraten zur Verfügung stellt. Diese Maschine bietet Hochleistungs-Abscheideverfahren, die das Abscheiden von Folien mit schnellen Durchsatzraten ermöglichen. Die Kammer des LAM RESEARCH 9500 ist in Doppelzonenkonstruktion gebaut, so dass der Bediener die Ätz- und Abscheideprozesse unabhängig steuern kann. Es ist auch mit zwei Plasmaquellen ausgestattet, einem niederfrequenten ECR (Electron Cyclotron Resonance) und einem hochfrequenten RF (Radio-Frequency). Die dualen Plasmaquellen bieten mehr Ätzleistung und bieten die Möglichkeit, Filme zu höheren Raten zu ätzen und abzuscheiden. 9500 PECVD-Werkzeug bietet auch breite Substratverträglichkeit, so dass der Betrieb auf einer Vielzahl von Substratoberflächen wie Aluminium, Glas, Keramik und Silizium-Wafer. Darüber hinaus bietet das Funktionsmodul ein umfangreiches Spektrum an Funktionen, darunter einen hohen Waferdurchsatz, eine Auto-Pilot-Funktion für eine einfache Bedienung und eine Sicherheitsstufenabsperrung, die nur überprüften authentifizierten Benutzern den Zugriff auf Asset-Funktionen ermöglicht. Um die Sicherheit zu gewährleisten, ist LAM RESEARCH 9500 mit einem Mehrprozessor-Controller mit mehreren Schutzschichten ausgelegt. Es verfügt auch über eine isolierte Vakuumkammer, die verhindert, dass gefährliche Chemikalien außerhalb des Modells austreten können. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine strenge Druck- und Temperaturregelung für optimale Leistung und zur Reduzierung der Gefahr von Beschädigungen und Verschmutzungen. Insgesamt ist 9500 ein fortschrittliches Ätz-/Aschersystem mit einem Dual-Zone-Design und Dual-Plasma-Quellen, so dass es ideal für hohe Serienbedürfnisse ist. Mit seinem leistungsstarken Betriebsmodul und strengen Sicherheitsprotokollen ist dieses Gerät eine ausgezeichnete Wahl für das Ätzen und Abscheiden von Folien bei schnellen Durchsatzraten.