Gebraucht LAM RESEARCH 9600 FEFG #9183635 zu verkaufen
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ID: 9183635
Weinlese: 1998
Metal etcher
Software version: Version E1.5
CIM: Ok
Main chamber:
(1) Turbo pump 1000 litre with controller
(1) E-chuck
(1) TCP RF Match
(1) Bias RF match
(2) RF Generators
(1) CL2 MFC: 180 sccm
(1) BCL3 MFC: 50 sccm
(1) SF6 MFC: 200 sccm
(1) N2 MFC: 100 sccm
(1) O2 MFC: 250 sccm
(1) Ar MFC: 100 sccm
(1) He UPC: 50 sccm
Strip chamber:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Auto WVDS controller
(1) O2 MFC: 2000 sccm
(1) N2 MFC: 300 sccm
(1) H2O MFC With controller: 500 sccm
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport:
(2) Integrated SMIF
(1) Wafer notch aligner with spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH 9600 FEFG ist ein hochentwickelter Ätzer, der sowohl für die Herstellung von Wafer- als auch Flachbildschirmen konzipiert ist. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für die Serienproduktion und verfügt über eine breite Palette von Funktionen, die es zu einer idealen Lösung für jede Produktionslinie machen. 9600 FEFG ist ein hochpräziser Ätzer, der ein präzises Ätzen einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Metallen, Halbleitern und Gläsern, ermöglicht. Das Werkzeug ist auch in der Lage, mit unterschiedlichen Tiefen und in ganz bestimmten Formen selektiv zu ätzen. Das Tool wurde auch entwickelt, um robuste Programmierbarkeit und hohen Durchsatz für optimale Produktivität zu bieten. Das Hauptmerkmal von LAM RESEARCH 9600 FEFG ist die integrierte Bewegungssteuerung. Dieses System gewährleistet einen kontinuierlichen, einwandfreien Betrieb und eine überlegene Leistung und bietet eine präzise Richtungs- und Positionskontrolle des Ätzens. Die Bewegungssteuerung bietet zudem eine verbesserte Programmierbarkeit, die optimierte Operationen und einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Darüber hinaus sorgt die fortschrittliche Optik des Werkzeugs, gekoppelt mit dem integrierten Laser, dafür, dass Ätzlinien genau und gleichmäßig geätzt werden. Je nach Anwendung kann der Laser in verschiedenen Mustern geätzt werden. Der Laser liefert auch eine sehr detaillierte Abbildung, wo die Linie geätzt wird, so dass die genaue Messung der Tiefen und die genaue Identifizierung von feinen Linienintervallen. Im Hinblick auf die Sicherheit bietet 9600 FEFG fortschrittliche Schutzmaßnahmen, einschließlich Not-Aus-Funktionalität und Absperrung der Bewegungssteuerung. Dadurch wird sichergestellt, dass das Werkzeug sicher und ohne übermäßige Gefahr betrieben werden kann. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine hochintuitive Touchscreen-Oberfläche, die eine einfache und nahtlose Steuerung des Ätzers ermöglicht. Die Schnittstelle zeigt auch eine detaillierte visuelle Darstellung des Ätzprozesses, so dass die Operatoren das visuelle Bild mit dem Ätzprofil korrelieren können. LAM RESEARCH 9600 FEFG ist ein leistungsstarkes und zuverlässiges Werkzeug, das sich gut für die Herstellung von Wafern und Flachbildschirmen eignet. Es bietet Präzisionssteuerung, einfache Programmierbarkeit, robuste Sicherheitsfunktionen und eine sehr intuitive Benutzeroberfläche. Dies macht 9600 FEFG zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Produktionslinie.
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