Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #199858 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 199858
Wafergröße: 8"
TCP metal etch system, 8"
Can be converted to 6"
Mounting: bulkhead
Software: Envision 1.52
Indexers: HINE
AC box: -001
Gas box: orbital welded
Clamping: ESC
Backside helium: closed loop
Generator: 3 RFG 1250
RF match: upper TCP, lower mini match, DSQ match
Turbo: SEKO SEKI 1000L
Turbo controller SEKI SEKI STP
VAT gate: VAT 65
VAT controller: PM-7
Endpoint: dual endpoint 703nm and 520nm
DSQ: hinged
WVDS: auto fill
APM: standard
MFCs: unit 1660
Gas config:
Gas 1: CL2 200
Gas 2: BCL3 100
Gas 3: SF6 100
Gas 4: N2 50
Gas 5: N2 1000
Gas 6: Ar 1000
Gas 7: O2 1000
Gas 8: CF4 200
Gas 9: H20 500.
LAM RESEARCH 9600 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher-Ausrüstung entwickelt, um überlegene Leistung und Zuverlässigkeit in einer Vielzahl von industriellen Fertigungsanwendungen bieten. Das System verfügt über integrierte 1- oder 2-Gas-Fähigkeit und erweiterte Temperaturregelung, so dass Benutzer genau Ätz- oder Aschematerialien auf dem gewünschten Niveau. Dies kann für Präzisionsanwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Halbleiterbauelementherstellung, Dünnschichtverpackung und Photomaskenherstellung von Vorteil sein. 9600 verfügt auch über geringe Geräuschpegel, einen numerischen fensterbasierten Controller und eine integrierte Diagnose, die es ideal für automatisierte Fertigungsprozesse macht. Die einfach zu bedienende Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, einfach auf Parameter zuzugreifen und Anpassungen im Handumdrehen mit nur der Berührung eines Fingers vorzunehmen. Das Gerät verfügt auch über Hochleistungs-HF-Plasmaquellen, so dass Benutzer überlegene Ätzraten und Gleichmäßigkeit zu erreichen. LAM RESEARCH 9600 verfügt auch über fortschrittliche Steuerungssysteme, einschließlich Temperatursensoren und Prozessgleichheitsregler, so dass Benutzer Prozessparameter einfach anpassen und ihren Fortschritt genau überwachen können. Seine intelligente Gasliefermaschine hilft, höhere Gleichmäßigkeit und Konsistenz der Prozesse zu erreichen. Weitere Merkmale sind ein universeller Liner für präzise Ätzraten und Gleichmäßigkeit, fortschrittliche Stromversorgung und Steuerung, modularer Aufbau für einfache Wartung, ein Drucktastengasstarter, größerer Durchsatz und Ertrag sowie optionales LAM RESEARCH Flottenmanagement. Zum Schutz vor möglichen Verunreinigungen verfügt 9600 über einen vollautomatischen hocheffizienten Umluftabzug, der das Einfangen von Partikeln unterstützt und das Eindringen in die Ätzkammer verhindert. Dies trägt zur Sicherstellung von Qualität und konsistenten Ätzergebnissen bei. Insgesamt ist LAM RESEARCH 9600 ein effektiver, zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher, perfekt für industrielle Fertigungsanwendungen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Funktionen sorgt es für überlegene Leistung und Zuverlässigkeit und hilft Unternehmen, ihre Produktivität und Effizienz zu steigern.
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