Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #293822608 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9600 ist eine plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung Ätzer/Ascher entwickelt, um hohe Qualität, hohen Durchsatz Ätzen und Aschen von kleinen und großen Substraten zu produzieren. Dieser fortschrittliche Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Substratmaterialien und -prozessen mit verbesserter Prozesswiederholbarkeit zu handhaben. 9600 ist mit einem patentierten einheitlichen Design entworfen, um eine gleichmäßige Verteilung der Gase über die gesamte Waferoberfläche zu gewährleisten. Es verfügt auch über ein zweiseitiges Gasfördersystem, das mehr Präzision und Kontrolle über die Ätz- und Ascheprozesse bietet. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über eine doppelt entkoppelte Endpunkttechnologie, die eine höhere Kontrolle der Ätztiefe, -rate und -selektivität bietet als einseitige Systeme. LAM RESEARCH 9600 verfügt außerdem über ein höheres Leistungsverhältnis zwischen Wafer und Mittelung für höhere Verfügbarkeit und geringeren Stromverbrauch sowie einen höheren Durchsatz. 9600 ist mit dem Zusatz einer entfernten Plasmaquelle ausgelegt, um den Ätzprozess über eine Vielzahl flexibler Prozessparameter zu ermöglichen. Die entfernte Plasmaquelle ist in den Ätzer/Ascher integriert, so dass Benutzer die Prozessparameter in Echtzeit einstellen können. Diese Prozessparameter umfassen Ätzraten, Selektivität und Overetch/Undercut. Die Integration ermöglicht auch schnellere Zykluszeiten, indem eine zusätzliche Plasmaquelle entfällt. LAM RESEARCH 9600 ist mit einem mehrzonigen Motorpositionierer für präzise Bewegungssteuerung und Wiederholbarkeit ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass sich der Wafer für jeden Ätz-/Aschezyklus gleichmäßig bewegt. Der Positionierer bietet auch Bewegungssteuerung für andere Aspekte des Bearbeitungszyklus, einschließlich Absperrventil und Verschlussbewegungen. 9600 ist mit einem integrierten Prozessüberwachungs- und Diagnosesystem für Echtzeit-Feedback zur Prozessleistung konzipiert. Dieses Feedback wird dann verwendet, um optimale Ergebnisse zu erzielen und Ausfallzeiten zu minimieren. Das integrierte Tool bietet auch eine Vielzahl von Funktionen wie Ereignisprotokollierung und Fehlererkennung. LAM RESEARCH 9600 ist mit einer Reihe von optionalen peripheren Komponenten, wie Ladeschleusen und gekühlten Gasverteilern, ausgelegt. Diese Komponenten ermöglichen es Benutzern, den Prozess weiter anzupassen und die Prozessleistung zu verbessern. Weitere Merkmale des Ätzers/Aschers sind ein Anti-Stiction-System, eine schnelle offene Zeit und ein breites Spektrum an Prozesstemperaturen. Insgesamt ist 9600 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine hervorragende Qualität mit verbesserter Prozesswiederholbarkeit bietet. Es besteht aus Hochleistungskomponenten und -funktionen sowie einer Reihe optionaler Peripheriegeräte und erweiterten Prozessüberwachungsfunktionen, um Benutzern eine hervorragende Ätz- und Veraschungsleistung zu bieten.