Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #9186503 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9600
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
9600
ID: 9186503
Wafergröße: 6"
Metal etcher, 6".
LAM RESEARCH 9600 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Aspher, der hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. 9600 kann praktisch jedes Material ätzen und verwendet einen modularen Kammerdesign, um die Verfügbarkeit und Prozessflexibilität zu maximieren. Es ist mit mehreren Quell- und Sinkmodulen ausgestattet, die präzise, durchsatzstarke Ätz- und Ascheprozesse sowie eine Tiefenprofilierung von bis zu 75 μ m Ätzdicke und eine energiesparende Asche von weniger als 2 nm ermöglichen. Der fortschrittliche Zykluscomputer und die leistungsstarke Software-Suite bieten volle Kontrolle und präzise Ergebnisse und sind einfach für eine präzise Zyklus- und Prozessoptimierung zu konfigurieren. Das fortschrittliche Vakuumüberwachungs- und Kontrollsystem von LAM RESEARCH 9600 sorgt für präzise Ätz- und Aschebedingungen mit geringen Partikelemissionen und hält sowohl die Kammer als auch die Waferumgebung sauber für maximalen Ertrag. Es verfügt außerdem über ein optionales Load Lock, das eine vollständige Integration mit anderen Geräten für maximale Flexibilität ermöglicht. 9600 ist automatisiert für einfache Bedienung und Steuerung, sowie Schnittstelle mit einer breiten Palette von Benutzeroberflächen und programmierbaren Geräten. Insgesamt bietet LAM RESEARCH 9600 eine zuverlässige, genaue und hochpräzise Ätz-/Aschelösung, die den Anforderungen der Halbleiter-, Verpackungs- und Anzeigeindustrie gerecht wird.
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