Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #9191115 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9600 ist ein Ätzer/Ascher, der verwendet wird, um leitfähige Materialschichten auf der Oberfläche von Halbleitersubstraten zu ätzen. Die Vorrichtung ist in der Lage, Materialschichten mit einer maximalen Dicke von 300 Angström zu ätzen. 9600 ist eine zuverlässige und robuste Ausrüstung, die hohe Präzision und Wiederholbarkeit bietet. LAM RESEARCH 9600 ist mit einer gepulsten induktiv gekoppelten Plasmaquelle ausgestattet, die über ein Nebenproduktgas aus Argon und Sauerstoff verfügt, um Siliziumoxid- und Polysiliziumschichten ätzen zu können. Dieses Gerät umfasst eine Remote-Prozesssteuerung mit grafischer Benutzeroberfläche, um eine einfache Bedienung zu ermöglichen, sowie ein Echtzeit-Überwachungs- und Diagnosesystem zur Online-Unterstützung. Darüber hinaus verfügt 9600 über ein elektrostatisches Spannfutter, um die Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch die Beseitigung von Partikeln und anderen Verunreinigungen während des Ätzprozesses zu verbessern. Es hat auch eine unabhängige Erdschaltung, die verwendet wird, um die Wirkung von externen elektrischen Rauschen zu reduzieren, so dass eine genaue Ätzung von Schichten mit empfindlichen Eigenschaften. LAM RESEARCH 9600 umfasst eine Doppeldrehscheibeneinheit mit einer maximalen Substratgröße von 300 mm x 300 mm. Der Ascher bietet eine volle Temperaturbilanz mit einer maximalen Substrattemperatur von 40 ° C. Es bietet auch eine Einpass-Profilverarbeitung mit einer niedrigen Substrat-Substrat-Temperaturschwankung von ± 2 ° C. 9600 ist für den Betrieb in einer Reinraumumgebung ausgelegt und benötigt elektrische Leistung von 208V AC (12kVA) und einen Spülgasanschluss für den unteren Sockel. Die Installation der Maschine ist einfach, da sie nur nivelliert werden muss, und die Roboterstufen (Vertikaler und Horizontaler Roboter) müssen kalibriert werden. Es ist wichtig, die Kammern und die Substrathalter einschließlich des unteren Sockels und der Auslässe regelmäßig zu reinigen. Dadurch wird sichergestellt, daß die beim Ätzvorgang entstehenden Staubpartikel die Substratqualität nicht abbauen und inakzeptable Defekte in den hergestellten Schichten verursachen. Insgesamt ist LAM RESEARCH 9600 ein zuverlässiger und vielseitiger Ätzer/Ascher, der für Ätzschichten mit einer Dicke von bis zu 300 Angström geeignet ist. Dieses Gerät verfügt über eine beeindruckende Präzision, eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und ein Doppeldrehscheibenwerkzeug, das Substrate von bis zu 300 mm x 300 mm aufnehmen kann. 9600 ist ideal für Reinraumumgebungen, und die ordnungsgemäße Reinigung der Kammern und der Substrathalter muss regelmäßig durchgeführt werden, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten.