Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #9204380 zu verkaufen

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LAM RESEARCH 9600
Verkauft
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
9600
ID: 9204380
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1999
Metal etcher, 4"-6" Mechanical clamp Included chambers: DSQ: Resist strip and passivation APM: Atmospheric passivation module Metal etch chamber (Dry etch) Includes: Upper and lower etch match Gases used: CL2 / BCL3 / Others Missing parts: MFC Solenoid ADIO Card Ceramics 1999 vintage.
LAM RESEARCH 9600 ist ein Ätzer/Ascher, der sowohl Wafer als auch Substrate mit speziellen Materialien verarbeiten soll. Diese Maschine kann angepasst werden, um eine Anwendung auf verschiedene Prozessanforderungen anzupassen. Es wird von LAM RESEARCH produziert, einem globalen Anbieter von Prozessanwendungen, die die Produktion integrierter Halbleiterschaltungen innovieren, vereinfachen und optimieren. 9600 bietet Flexibilität, Spitzenleistung und geringe Verarbeitungskosten. Es ist ein Mehrkammersystem, das in jeder Kammer unterschiedliche Bearbeitungsschritte ermöglicht. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen und macht die Maschine sehr vielseitig. LAM RESEARCH 9600 bietet darüber hinaus einen hohen Durchsatz und eine hohe Gleichmäßigkeit mit einer sehr niedrigen Betriebstemperatur, die die Partikelverschmutzung reduziert und die Produktausbeuten erhöht. 9600 hat einen Quelldeckel, Substrattisch, variable Prozesskammer und Abgassysteme. Der Quelldeckel enthält eine Gitterplatte und Verschlussmechanismen, zum effizienten Be- und Entladen von Substraten. Der Substrattisch ist auf Stabilität und Wiederholbarkeit ausgelegt und kann mehrere Prozesskammern aufweisen. Die variable Prozesskammer ist so ausgelegt, dass der Benutzer die Verarbeitungsbedingungen von der Steuerung aus einstellen kann. Es verfügt über einen motorisierten Aufzug und hat eine Tür zur Ladekammer zum Be- und Entladen von Substraten. Die Abgasanlage ist für eine effiziente Abpumpung und Reinigung von Abwässern, einschließlich Fluor und Chlor, ausgelegt. LAM RESEARCH 9600 kann angepasst werden, um Substrate von einer 3-Zoll bis zu einer 8-Zoll-Wafergröße mit einer Kapazität von bis zu 24 Substraten zu verarbeiten. Es ist ein automatisiertes System mit Roboterarmmechanismen, Doppelrobotern und Substratsortierung. 9600 verfügt über eine computergesteuerte Schnittstelle, die die Überwachung des Status des Moduls, die Bearbeitung und Einstellung von Prozessrezepten und das Plotten verschiedener Prozeßgraphenparameter ermöglicht. Es umfasst auch Siliciumcarbid, Quarz und Aluminiumoxid-Verarbeitungsfunktionen. Insgesamt ist LAM RESEARCH 9600 ein hochwertiger Ätzer/Ascher, der eine wirtschaftliche Lösung für Prozesse bietet, die Präzision und kontrollierte Umgebungen erfordern. Es ist hochautomatisiert und seine Fähigkeit, die Prozessbedingungen anzupassen, macht es zu einer idealen Wahl für viele Anwendungen.
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