Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #9210314 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9600
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
9600
ID: 9210314
Wafergröße: 6"
Metal etcher, 6" Type: ESC Single chamber.
LAM RESEARCH 9600 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für die Halbleiterverarbeitung. Es verwendet sowohl nasse als auch trockene Ätzprozesse, so dass der Benutzer auswählen kann, welche für seine Anwendung am besten geeignet ist. Mit seiner leistungsstarken, aber energieeffizienten gepulsten Leistungsausrüstung ist es in der Lage, eine breite Palette von Substraten wie Silizium, Galliumarsenid und andere III-V-Verbindungen zu handhaben. Das automatische Be- und Entladesystem sorgt für konsistente Prozessergebnisse und verbessert den Durchsatz. 9600 kombiniert eine zuverlässige, leistungsstarke Stromquelle, einen Präzisions-Kine-Controller für präzise Prozesssteuerung und unabhängige Temperatur- und Drucküberwachung für eine genaue Lieferung. Dies führt zu engen Prozesstoleranzen und wiederholbaren Ergebnissen. Die integrierte Oberfläche ist benutzerfreundlich und ermöglicht es Benutzern, mehrere Prozessrezepte zu erstellen und zu speichern. LAM RESEARCH 9600 bietet zusätzliche Vorteile wie Flexibilität in der Kammergröße mit einer Auswahl von 3,2, 5,3 oder 7,7 Zoll Durchmesser. Auf diese Weise können Benutzer die optimale Werkzeuggröße für die Anwendung auswählen, was sowohl Zeit als auch Kosten spart. Mit einem breiten Spektrum von Kammerdrücken und Temperaturen kann das Gerät viele verschiedene Abscheide- und Ätzanwendungen bewältigen. 9600 verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen, wie integrierte Notabschalter und einen Low-Flow-Alarm zur Lecksuche. Darüber hinaus ermöglicht ein optionales Basis-Vakuum-Modul schnelles und nahtloses Be- und Entladen von Substraten sowie Prozessoffset-Korrekturen. Diese Funktionen in Kombination mit der robusten Architektur und Performance von LAM RESEARCH 9600 garantieren einen maximalen Prozessdurchsatz und eine wiederholbare Leistung. 9600 ist ein vielseitiger und zuverlässiger Ätzer/Ascher für viele Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Mit seiner leistungsstarken und energieeffizienten Impulsmaschine, einer breiten Palette an Kammergrößen, Temperatur- und Druckeinstellungen sowie fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen sorgt LAM RESEARCH 9600 für zuverlässige Prozessergebnisse und optimierten Durchsatz.
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