Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #9233030 zu verkaufen

Der LAM LAM RESEARCH 9600 ist ein Ätzer/Ascher, der die ultimative Flexibilität und Leistung für fortschrittliche Verarbeitungstechnologie bietet. Diese Ausrüstung ist ideal für Anwendungen von der Waferfertigung bis zur Plattenlaufwerk-Produktentwicklung. Es ist ein integrierter Ätzer/Ascher, der eine modulare Zweistrahl-Prozesskammer verwendet, um eine zuverlässige und effiziente Verarbeitung jedes Musters zu ermöglichen. Der LAM 9600 verfügt über eine hochmoderne Prozesskammer, die eine gleichmäßige Ätztiefe und präzise Materialhandhabung bietet, wodurch Benutzer jedes Substrat ätzen oder aschen können. Diese hochentwickelte Kammer ermöglicht maximale Prozesskontrolle und Gesamtsystemflexibilität. Das LAM LAM RESEARCH 9600 Prozessmodul integriert fortschrittliche Prozesse wie induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), reaktives Ionenätzen (RIE) und elektrochemisches Ätzen (ECE). Diese Verfahren ermöglichen hochwertiges Waferätzen bei geringer Verschmutzung und verbesserter Prozessstabilität. Die integrierte dielektrische Reaktionskammer bietet eine Plasmaleistungsregelung und gleichmäßige Ätztiefen und eignet sich für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheaufgaben. 9600 ist mit einer Stufen- und Wiederholeinheit zur schnellen HF-Ausgangskontrolle ausgestattet. Die Software umfasst mehrere Quellsteuerungsparameter, eine automatisierte dynamische Echtzeit-Gassteuerung, eine hochgenaue virtuelle Temperatursteuerung und eine ausgeklügelte Prozesssteuerungsmappingmaschine. Durch die Kombination dieser Funktionen bietet das Tool sowohl genaue als auch wiederholbare Ätzleistung. Darüber hinaus bietet das Asset optische und akustische Diagnosefunktionen. Das integrierte optische Modell bietet eine kontinuierliche Überwachung des Ätz- und Ascheprozesses, während die akustische Ausrüstung eine zerstörungsfreie Prüfung des Ätzmusters ermöglicht, um Fehler oder Schwächen zu erkennen. Der LAM LAM RESEARCH 9600 kann für verschiedene Anwendungen konfiguriert werden, darunter Metalloxid-Ätzen, High-Aspect-Ratio-Ätzen und Metalllinienmuster. Das System kann eine Vielzahl von Substraten verarbeiten, die kristallines Silizium, Dünnschichtmaterialien und Quantenpunkte enthalten. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von optionalen Paketen erhältlich, wie einer Ionenquelle und einer optionalen automatisierten Probenhandhabungsmaschine. Mit seiner flexiblen Prozesskammer, einem umfassenden Steuerungstool und erweiterten Diagnosefunktionen ist der LAM 9600 eine vollständige und kostengünstige Lösung für fortschrittliche Ätz-/Ascheanwendungen. Es bietet maximale Prozesskontrolle, einheitliche Ätztiefen und zuverlässiges Materialhandling, um eine leistungsstarke und kostengünstige Verarbeitung zu gewährleisten.