Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #9243611 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9243611
Weinlese: 1996
Etcher
DSQ Chamber (Microwave strip)
APM
Vacuum system:
DSQ / Microwave chamber
MKS 0.1 Torr:
Process manometer
Service manometer
Foreline manometer
DSQ Process manometer
APC Valve & adapter: VAT 64 Series with PM-5 adapter
Turbo pumps: SEIKO SEIKI
DSQ Iso valve: TYLAN Throttle valve MDVX18-100
RF System:
Top RF generator: ADVANCED ENERGY RFDS 1250
Bottom RF generator: ADVANCED ENERGY RFG 1250
DSQ RF Generator: ADVANCED ENERGY RFDS 1250
Temperature Control & B/S he cooling:
12 Loop temperature controller
ESC: LAM RESEARCH OEM Parts
He UPC: 50 sccm
He manometer: MKS 20 Torr
No gas box
No chamber dry pump
No loadlock pump
No chiller
1996 vintage.
LAM RESEARCH 9600 ist eine hochpräzise Ätz-/Aschermaschine zum Ätzen, Passivieren und Reinigen von Halbleiterscheiben und Substraten bei der Herstellung von integrierten Schaltungen. Dieses System ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die präzise Materialverarbeitungsvorgänge von herausragender grundlegender Genauigkeit ermöglichen, einschließlich Unterstützung für mehrstufige Prozesse und Softwaresysteme, die für die Analyse und Rückverfolgbarkeit von Daten auf Waferebene optimiert sind. 9600 können Substrate von bis zu 6 "(bis zu 1,5 μ m dick) mit dramatischer Auflösung und Wiederholbarkeit verarbeiten. Eine integrierte mikroprozessorgeregelte Gaskontroll- und Abgabeeinheit sorgt für eine präzise Steuerung der Maschinenparameter und eine präzise chemische Abgabe. Dieses Tool bietet unübertroffene Funktionen, wenn es um präzise chemische Lieferung, präzise Maskierungsoperationen und modernste Wafer-Datenanalyse geht. LAM RESEARCH 9600 ist für die technologisch fortschrittlichsten Anwendungen zur Verarbeitung von Halbleitermaterialien konzipiert. Es unterstützt die automatisierte chemische Lieferung, eine präzise und wiederholbare Temperaturregelung, eine präzise und kontrollierte chemische Temperatur, präzise und kontrollierte Gasdrücke sowie eine präzise und kontrollierte Leistungsabgabe. Dieses Etcher/Asher-Asset ist mit einer Reihe einzigartiger Funktionen ausgestattet, darunter ein ultra-hochpräzises Dual-Head-Gasliefermodell, eine hochgenaue automatische Ausrichtung und eine Vielzahl patentierter und fortschrittlicher Ätz-, Passivierungs- und Reinigungsrezepte, die speziell für 9600 entwickelt wurden. Um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu liefern, verfügt LAM RESEARCH 9600 über ein ausgeklügeltes und integriertes mikroprozessorgesteuertes Betriebssystem, das sich automatisch an verschiedene Rezepte und Prozessbedingungen anpasst. Die interne Gasströmungssteuerung und die hochpräzise Dosiermaschine sorgen für eine präzise Steuerung von Ätz-, Passivierungs- und Reinigungsvorgängen. 9600 bietet auch fortschrittliche Softwaresysteme für Datenerfassung und fortschrittliche Qualitätsdatenanalyse. Dieses Tool ist für die automatische Ausrichtung, Verfolgung und erweiterte Qualitätskontrolle der Substratlithographie optimiert. Neben den Out-of-the-Box-Funktionen bietet LAM RESEARCH 9600 auch benutzerdefinierte Installationsoptionen und erweiterte Wartungspakete, einschließlich Echtzeit-Prozesssteuerung und Datenanalysefunktionen. 9600 ist eine zuverlässige, vielseitige und kostengünstige Lösung für fortschrittliche Materialbearbeitungsvorgänge. Die Kombination aus hochpräziser Gaslieferung und fortschrittlichen Softwaresystemen bietet eine äußerst zuverlässige Ausstattung, die in der Lage ist, zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse in einer Vielzahl von Prozessbedingungen zu liefern.
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