Gebraucht LAM RESEARCH 9600 #9399061 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9600 ist ein High-End, Mehrkammer, Batch Dimensionale Etcher/Ascher speziell für Produktionsanwendungen entwickelt. Es ist eines der fortschrittlichsten Ätzer/Ascher zur Verfügung, bietet eine umfangreiche Flexibilität und Prozessfähigkeit durch seine mehreren Verarbeitungskammern, die konfiguriert werden können, um individuelle Prozessanforderungen zu erfüllen. Die Ausrüstung nutzt eine hohe Ausbeute, plasmaverbessertes chemisches Ätzen (PECVD), um selektiv eine Vielzahl von Materialien zu ätzen oder zu aschen. 9600 ermöglicht präzises, hochdurchsatzgesteuertes Ätzen und Veraschen von mehrschichtigen Leiterbahnen, Halbleiterbauelementen und anderen strukturierten Substraten bis hin zu Submikron-Dimensionen. Die Flexibilität der Kammerkonfiguration des Systems bietet maximale Prozessfähigkeit und Flexibilität, was eine parallele Verarbeitung mehrerer Wafer und ein optionales Stapeln und Laden mehrerer Kassetten ermöglicht. Das präzise und einstellbare chemische Ätzen von LAM RESEARCH 9600 führt zu höheren Erträgen und Effizienz der Waferfertigung. Es ist mit der neuesten und fortschrittlichsten Ätztechnologie ausgestattet, wie: auswählbare Quellen- und Ladesysteme, einschließlich plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidung, chemischer Dampfabscheidung und reaktiver Ionenätzung; Temperatur-, Druck- und chemische Durchflussregler; und fortschrittliche Gasstrom- und Abgassteuereinheit für verbesserte Sicherheit und Wartung. 9600 verfügt auch über eine fortschrittliche Steuerungsmaschine, die Prozessparameter und Fehleraufzeichnung, Wafer-Positionierungs- und Überwachungswerkzeug, vollautomatische Endpunktüberwachung und flexible benutzerdefinierte Prozessrezepte bietet. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) bietet eine einfache, verbesserte Benutzererfahrung und Herstelleroberfläche. LAM RESEARCH 9600 wurde entwickelt, um die strenge und schnelle Zeitlinie der Produktionsanwendungen zu erfüllen. Es bietet eine 100% saubere Temperatur, Druck und Prozesskammer Bedingungen, sowie Echtzeit-Prozess-Steuerung Feedback und Feedback-Auslesen. Es ist als Batch-Prozessmaschine konfiguriert und ermöglicht eine schnelle Verarbeitung von bis zu 200 Wafern pro Stunde mit bedienerdefinierten Prozessrezepten und Automatisierungseinstellungen. 9600 ist mit einem sehr robusten Betriebsmittel konzipiert, das eine minimale Wartung erfordert und benutzerfreundlich ist. Das Modell erfüllt strenge ESD-Standards und stellt sicher, dass alle Wafer frei von Verunreinigungen sind, indem eine 100% saubere Temperatur- und Abgaskammer, Prozesskammerdichtungen und andere Sicherheitsmerkmale verwendet werden. Es ist mit einer Echtzeit-Prozessüberwachungseinrichtung und einem Endpunktalarmsystem zur verbesserten Prozesssteuerung ausgestattet.