Gebraucht LAM RESEARCH A4 4520 PM #9170252 zu verkaufen
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LAM RESEARCH A4 4520 PM ist ein Ätzer (oder Ascher), der für fortgeschrittene Prozesse entwickelt wurde und eine präzise Kontrolle über den Materialabtragungsprozess bietet. Es hat eine Endpassrate von bis zu 10.000 Wafern pro Stunde und wurde entwickelt, um kleine, ultrapräzise Funktionen mit präzisen, wiederholbaren Ergebnissen zu schaffen. Für maximale Prozessflexibilität ist A4 4520 PM mit einer fortschrittlichen Wafer-Handling-Ausrüstung ausgestattet, die sich an jedes Substrat anpasst. Dazu gehören Komponenten zur Handhabung von Wafern mit unterschiedlichen Durchmessern und Dicken sowie ein programmierbares Futter-Priorisierungssystem zur genauen Verwaltung mehrerer Wafersätze. Eine Vielzahl von Funktionen stehen zur Verfügung, um die Ätzqualität und die Prozessausbeute zu maximieren, einschließlich eines geschlossenen Vakuumfutterdesigns für eine präzise Temperaturregelung, einer detaillierten Echtzeit-Prozessüberwachung mit hochwertiger, sichtbarer Optik und einer mehrstufigen, automatisierten Gassteuerung auf Rezeptbasis. Die patentierte Rapid Energy Response-Technologie des Geräts passt sich an die Verarbeitung verschiedener Materialien und Substrate mit optimaler Geschwindigkeit an und minimiert die Reaktantenkonzentration während des Ätzprozesses für eine verbesserte Ätzrate und Qualität. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH A4 4520 PM mit fortschrittlicher Gaskontrolle für eine präzise Materialentfernung ausgestattet. Der Computer enthält auch eine Fehlerbehebungsfunktion, die es Technikern ermöglicht, Probleme während des Prozesses schnell zu erkennen und zu lösen. Darüber hinaus ermöglichen integrierte Berichtsfunktionen die Erfassung und Meldung von Ätzparametern aus jedem Wafer für die Rückverfolgbarkeit und den Leistungsverlauf. Um die Sicherheit zu maximieren, enthält das Tool eine erweiterte Schutzeinrichtung, um Personal und Ausrüstung vor gefährlichen Materialien zu schützen, die während der Ätzbearbeitung verwendet werden. Dazu gehört ein leistungsstarker Gaswäscher zum Einfangen und Entfernen von Ätzabflüssen. Insgesamt ist A4 4520 PM ein zuverlässiger, fortschrittlicher Ätzer, der für die Erstellung genauer, wiederholbarer Funktionen entwickelt wurde. Es bietet maximale Prozessflexibilität, präzises Temperaturmanagement, Gaskontrolle und ein effektives Containment-Modell für mehr Sicherheit.
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