Gebraucht LAM RESEARCH A4 9400 #9127504 zu verkaufen

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ID: 9127504
Chambers (1) LAM A4 9400 DFM chamber (1) LAM A4 9400 SE chamber.
LAM RESEARCH A4 9400 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der den Anwendern vielseitige und kostengünstige Lösungen für komplexe Anwendungen durch Bildung und Strukturierung bietet. Mit fortschrittlichen Funktionen wie einem integrierten HF-Generator, einer Hochdruck-Prozesskammer und der Möglichkeit, leicht zwischen Ätz- und Ascherezepturen zu wechseln, ist A4 9400 eine ideale Wahl für Halbleiterhersteller und Forschungslabore, die einen zuverlässigen Mittellastätzer/Ascher für ihre vielseitigen Ionenverarbeitungsanforderungen benötigen. Das innovative Design von LAM RESEARCH A4 9400 umfasst eine Hochdruck-Prozesskammer mit einem Basisdruck von mehr als 1x10-4 Torr, wodurch Anwender eine optimale Prozessleistung für jegliche Ätz- und Abscheidungsvariationen erzielen können. Diese erweiterte Kammer ermöglicht auch einen spitzen praktischen Hintergrunddruck von 1x10-6 Torr durch den Einsatz der eSFOC-Hochdruckpumptechnologie. Der effiziente HF-Generator, der in A4 9400 integriert ist, bietet eine große Leistung von bis zu 500W, wodurch Benutzer höhere HF-Plasmadichten erzeugen können. Diese HF-Leistung ermöglicht es Benutzern, dickere Folien mit geringerem Materialverlust und Ladungsneutralisationseffizienz zu produzieren, was zu höheren Prozessausbeuten und engeren Mustertoleranzen führt. LAM RESEARCH A4 9400 bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, wie ein Reinigungssystem, das aktiviert werden kann, um einen sauberen Betrieb zu gewährleisten, und ein HF-Schutzsystem zum Schutz von Personal und Ausrüstung in der Nähe. Darüber hinaus verfügt A4 9400 über eine ergonomisch gestaltete industrielle Arbeitseinheit, mit der Anwender ihre Werkstücke bequem und effizient positionieren können, während sie sie ätzen oder aschen. Neben seiner überlegenen Leistung bietet LAM RESEARCH A4 9400 auch eine einfache Rezeptumschaltung und eine hohe Verarbeitungsgeschwindigkeit. Es kann von Ätz- zu Ascherezepten in nur 2 Sekunden wechseln, so dass Benutzer Rezept-Formulierungen schnell ändern, um ihre speziellen Prozessbedürfnisse anzupassen. Mit A4 9400 können Anwender außerdem Prozessgeschwindigkeiten von bis zu 4.500 Wafern pro Stunde erreichen, was einen schnellen und effizienten Betrieb ermöglicht. LAM RESEARCH A4 9400 ist ein zuverlässiger und vielseitiger Mittellastätzer und Ascher, der den Anforderungen der Halbleiterindustrie und der Forschungsindustrie gerecht wird. Mit seinen fortschrittlichen Ätz- und Aschefunktionen, dem leistungsstarken HF-Generator, der Hochdruckprozesskammer, dem einfachen Rezept-Schalten und der Hochgeschwindigkeitsverarbeitung ist A4 9400 die ideale Lösung für Anforderungen an die Ionenverarbeitung.
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