Gebraucht LAM RESEARCH A4 #148352 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 148352
Transport module
(2) VCs
Dual 6" arms
MTR5 robot
Autoloader
VAT valves
Running Envision 2.1.
LAM RESEARCH A4 ist ein hochentwickeltes Ätzwerkzeug, das speziell für die Präzisionsscheibenherstellung entwickelt wurde. Das Gerät ist mit einer einzigartigen Vier-Wege-Quelle-Ausrichtungsausrüstung ausgestattet, die es ermöglicht, Ätzungen mit hohem Seitenverhältnis mit einer hohen Wiederholfrequenz durchzuführen. Dieses neue System beinhaltet ein patentiertes Sichtprüfungsmodul, das in der Lage ist, auch die subtilsten Defekte zu entdecken und die geätzten Tiefen genau zu messen. LAM RESEARCH A-4 ist ein Hochleistungs-Waferätzwerkzeug für die Halbleitersubstratverarbeitung. Es verwendet fortschrittliche Plasmachemie, um eine Vielzahl von hohen Seitenverhältnisätzungen im Bereich der Waferherstellung durchzuführen. Das Produkt besteht aus vier Quellen, die in einem Kreuzmuster über dem Wafer angeordnet sind. Dadurch kann die Ätzrate gleichmäßig über die gesamte Waferoberfläche verteilt werden. Um Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu gewährleisten, ist A4 mit einer speziellen Vierwege-Quellenausrichteinheit ausgestattet, die für dünne Displays und fortschrittliche elektronische Verpackungstechnologien optimiert ist. Das Gerät ist auch in der Lage, Erodierungen an Stellen zu erkennen und zu stoppen, die die Konstruktionsvorgaben übertreffen. Darüber hinaus ist es mit einem zweidimensionalen Look-down-Ätz- (2D-LDE) -Merkmal programmiert, das Oberflächenfehler auf Wafern erkennen und komplexe Strukturen erzeugen kann. Die 2D-LDE ermöglicht die Herstellung von Subviertel-Mikromethoden sowie komplexe Geometrien wie Durchgangslöcher. Die robusten Verarbeitungsfunktionen von A-4 werden durch das einzigartige Vision-Inspektionsmodul des Produkts unterstützt. Dieses Modul ist in der Lage, das Vorhandensein von Ätzfehlern wie Oberflächenvertiefungen, Dellen und anderen Merkmalen auf Submikronebene zu erkennen. Es kann auch Tiefen genau messen und falsche Anzeigeprobleme melden. Das Modul unterstützt auch die Echtzeit-Nachätzprozesssteuerung sowie die Ertragsverbesserung durch höhere Präzision der geätzten Merkmale. Schließlich ist das Produkt mit Überwachungs- und Feedback-Funktionen ausgestattet, die eine Prozessoptimierung und eine höhere Rückverfolgbarkeit ermöglichen. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH A4 ein hochentwickeltes Ätzwerkzeug, das Präzisionsscheibenherstellung bietet. Es ist mit einer ausgeklügelten Vier-Wege-Quelle-Ausrichtmaschine, 2D-LDE und einem umfassenden Vision-Inspektionsmodul ausgestattet. Diese Komponenten ermöglichen ein effizientes und genaues Ätzen von Wafern und die Erkennung von Ätzfehlern. Darüber hinaus wurde das Produkt entwickelt, um Echtzeit-Prozesskontrolle und zuverlässige Ergebnisse zu bieten.
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