Gebraucht LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9241406 zu verkaufen

LAM RESEARCH A6 9608 PTX ist ein Ätzer/Ascher, der von der LAM RESEARCH Corporation für den Einsatz in fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieser Ätzer/Ascher ist für die großvolumige Fertigung in Halbleiterfertigungslinien ausgelegt. Es nutzt die zum Patent angemeldete Wärmeplattentechnologie des Unternehmens, um präzise, ertragreiche Ätz- und Ascheergebnisse zu liefern. Das Gerät verfügt über einen 20 kW HF-Generator, eine effiziente Übertragung und eine Hochdruckförderung (bis zu 760 Torr) für präzise Asche- und Ätzprozesse. Die PTX ist auch mit einem thermischen Plattensystem ausgestattet, das eine gleichmäßige Temperaturverteilung gewährleistet und die Bearbeitungszeit reduziert. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über die innovative Hornet Reactive-Ion-Ätztechnologie, die Wafer mit einer Dicke von 0,1 mm bis 0,27 mm verarbeiten kann. Es verfügt auch über eine erweiterte Prozesssteuereinheit, die automatische Ausrichtungs- und Autofokusfunktionen sowie einen automatischen Zielkassettenlader für schnellen Substrataustausch bietet. Es ist auch mit einem fortschrittlichen Prozess Rezept Compiler ausgestattet, um die Aufgabe der Entwicklung von Prozessrezepten zu vereinfachen. A6 9608 PTX Ätzer/Ascher hat eine maximale Kapazität von 8-Zoll-Wafern, eine Gleichmäßigkeit von 6500 Angström und eine Prozesswiederholbarkeit von 3,5 Sigma. Es unterstützt eine breite Palette von Wafersubstraten wie Silizium, Quarz und Saphir sowie eine umfangreiche Liste von Materialien zum Ätzen und Aschen. Die Maschine ist auch in der Lage, eine breite Palette von PFG-Vorläufergasen wie Chlor, Stickstoff und Brom zu verarbeiten. Darüber hinaus ist dieses Tool mit einem PANalytical Quarz Analysis Asset ausgestattet, das eine Echtzeit-Überwachung und Analyse der Prozessleistung bietet. Der Ätzer/Ascher ist auch mit dem thermischen Regelungsmodell LAM A9 kompatibel, was eine automatische Temperaturregelung der Prozesskammer ermöglicht. Ebenso wie die Ozon Control Equipment, die eine präzise Kontrolle der Ozonproduktion ermöglicht, um einheitliche Ätz- oder Ascheergebnisse zu gewährleisten. LAM RESEARCH A6 9608 PTX ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der ausgezeichnete Prozesssicherheit und Durchsatz zu Halbleiterfertigungslinien bietet. Dieses zuverlässige, kostengünstige System ist ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, die Baugruppenmontage und andere Anwendungen.