Gebraucht LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410068 zu verkaufen

LAM RESEARCH A6 9608 PTX Ätzer/Ascher ist ein industrielles Plasmaätzwerkzeug, das zur Präzisionsherstellung von Halbleiter- und Mikromaschinen verwendet wird. Die 9608 PTX verfügt über chemisches Ätzen, unter Verwendung eines reaktiven Gases, kombiniert mit Ätzen mit einer physikalischen Form von Energie, bekannt als Plasma. Das Werkzeug bietet eine hervorragende Kombination aus Prozesssteuerung und Ätzkonsistenz, wobei ein hoher Durchsatz durch schnelles Übertragen von Material von Quellwafer zu Zielwafer erreicht wird. Das robuste Design der 9608 PTX eignet sich hervorragend für wiederholte Operationen in rauen industriellen Umgebungen. Das System ist mit einer Mehrkammerarchitektur gebaut, die eine Vielzahl von Ätzprozessen ermöglicht. Es ist mit drei Prozesskammern, einer Vorätzkammer, einer Ätzkammer und einer Nachätzkammer ausgestattet. Jede Kammer bietet zahlreiche Ätzmöglichkeiten und die Möglichkeit, Parameter wie Druck, Durchfluss und Temperatur einzustellen. Der Rezirkulationswasserweg sorgt für die Temperaturerhaltung im Ätzprozess, auch bei langen Läufen. Das effiziente 9608 PTX-System ist für die enge Integration mehrerer Prozesse in einen einzigen Ätzvorgang ausgelegt. Es beinhaltet fortschrittliche Automatisierung für effiziente mehrstufige Batch-Operationen, wobei Prozessrezepte im Speicher gespeichert und schnell für die zukünftige Verwendung zurückgerufen werden. Das System ist mit Prozessrezeptführung, Echtzeitüberwachung, Fehlererkennung und automatischen Abschaltfunktionen ausgestattet, um die Produktqualität sicherzustellen. Darüber hinaus unterstützt das Tool die Datenerfassung und das Forward Reporting für Prozessverbesserungen und Materialkosteneinsparungen. Die 9608 PTX ist kompakt und zuverlässig, bei geringem Stromverbrauch. Es stellt sicher, dass Prozesse sicher und ohne Verunreinigungen durchgeführt werden. Für konstanten Durchsatz und optimale Produktqualität bietet LAM RESEARCH technischen Support und Produktschulungen sowie ein umfassendes Paket an Diagnosetools und vorausschauenden Wartungsprogrammen. Das flexible und wartungsfreundliche Werkzeug bietet beeindruckende Ertragsleistung und ermöglicht Prozess- und Betriebsoptimierung.