Gebraucht LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410070 zu verkaufen

LAM RESEARCH A6 9608 PTX ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher mit überlegener Leistung und Fähigkeiten zur Unterstützung moderner Ätz-/Ascheanforderungen. Es ist eine großflächige Mehrkammerausrüstung, die mit fortschrittlicher High-Velocity Ionized Flow (HVIF) -Technologie ausgestattet ist und in der Lage ist, Substrate verschiedener Größen in mehreren Verarbeitungskammern zu reinigen. A6 9608 PTX verfügt über eine neue Generation Plasmaquellentechnologie, die Hochfrequenz und hohe Leistung verwendet, um einen stabilen und gleichmäßigen Plasmabrenner zu schaffen. Diese fortschrittliche Technologie ermöglicht hohe Ätz-/Aschepräzision bei geringem Schaden und überlegener Ätz-/Aschegleichförmigkeit. Die Steuerung kann auch automatisch die Plasmabrenner Leistung und Wiederholbarkeit für erhöhte Prozeßwiederholbarkeit und Leistungsgenauigkeit einstellen. LAM RESEARCH A6 9608 PTX ist mit einer Mehrzonen-Gasfördereinheit ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Ätz-/Aschereaktion ermöglicht. Die Mehrzonen-Gasfördermaschine ermöglicht es dem Benutzer, die Kammereinstellungen wie Druck, Temperatur und Durchfluss einzustellen, um die Ätz-/Aschereaktion an die Prozessanforderungen anzupassen. A6 9608 PTX kann auch eine breite Palette von Gasarten unterstützen, wie CF4 (Tetrafluormethan), C3F6 (Hexafluorethan) und andere Gasgemische, so dass es für die meisten Ätz-/Ascheanwendungen geeignet ist. Das Werkzeug ist auch mit einem speziellen Wafer-Reinigungsmittel ausgestattet, das sowohl Halbleiter- als auch Nichthalbleitermaterialien handhaben kann. Dieses Modell dient der Herstellung der Substrate vor dem Ätz-/Aschevorgang durch Entfernen unerwünschter Materialien und Partikel aus den Substraten. LAM RESEARCH A6 9608 PTX wurde entwickelt, um ein überlegenes Maß an Kontrolle und Präzision während des Ätz-/Ascheprozesses zu bieten. Es ist mit einer breiten Palette von automatisierten Steuerungssystemen ausgestattet, um präzise und wiederholbare Prozessbedingungen zu gewährleisten. Die umfassende Softwareschnittstelle des Geräts ermöglicht es dem Anwender, die Parameter für die Ätz-/Ashing-Leistung zu beobachten und den Prozess von entfernten Standorten aus zu überwachen. A6 9608 PTX ist für die einfache Integration mit anderen LAM RESEARCH-Tools wie Vorverarbeitungs- und Nachbearbeitungssystemen konzipiert. Darüber hinaus können Benutzer mehrere Prozessrezepte und Prozesseinstellungen für verschiedene Ätz-/Ashing-Anwendungen konfigurieren. Das System ist auch in der Lage, umfangreiche Prozessdaten zu speichern, so dass Benutzer die Ätz-/Ashing-Leistungsparameter verfolgen und mit verschiedenen Rezepten experimentieren können. Insgesamt ist LAM RESEARCH A6 9608 PTX ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher mit überlegener Leistung und Fähigkeiten zur Unterstützung moderner Ätz-/Ascheanforderungen. Es ist mit fortschrittlicher High-Velocity Ionized Flow (HVIF) -Technologie und einer Mehrzonen-Gasfördereinheit ausgestattet, die es ideal für präzise Ätz-/Ascheanwendungen machen. Darüber hinaus bietet die Maschine automatisierte Steuerung, Prozessdatenspeicherung und eine breite Palette von Gasarten, so dass sie für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheanwendungen geeignet ist.