Gebraucht LAM RESEARCH A6 #293821538 zu verkaufen

LAM RESEARCH A6 ist ein Mehrkammer-, Mehrprozessätzer/Ascher, der schnelle, zuverlässige Ätz- und Aschefunktionen für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. A6 ist eine robuste, ertragreiche und zuverlässige Ausrüstung, die zum Ätzen großer oder kleiner Substratgrößen wirksam ist. Das System besteht aus zwei unabhängigen, temperatur- und druckgesteuerten Prozesskammern mit einer großen und geräumigen Bearbeitungskammer für größere Substrate und mehreren kleineren Kammern für kleinere Substrate. Dies ermöglicht eine variable Substratverarbeitung entsprechend den Anforderungen der Anwendung. Die Einheit verfügt über unabhängig programmierbare Gasströme und -drücke, die einen optimierten Prozessfluss und schnelle Zykluszeiten auf einer Vielzahl von Materialien ermöglichen. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine maximale Flexibilität in der Substratverarbeitung mit bis zu vier Substrathaltern pro Kammer. LAM RESEARCH A6 umfasst auch erweiterte Kammerdesign-Eigenschaften wie automatische Kammerspülung, Mehrkammer-Bypassing, Doppelgebläse-Bypassing und Kammerseitenwand Be- und Entladen. Darüber hinaus ermöglicht die Verfügbarkeit von Nass- und Trockenprozessen mit A6 den Anwendern, die Betriebskosten zu senken und die Erträge zu steigern. LAM RESEARCH A6 ist auch kompatibel mit einer breiten Palette von Gasen, wie CF4, SF6, NF3 und Ar. Schließlich verfügt A6 über eine integrierte Mehrkammer-Prozessoptimierung, die es äußerst zuverlässig, effizient und benutzerfreundlich macht.