Gebraucht LAM RESEARCH AE 480 #9214116 zu verkaufen

LAM RESEARCH AE 480 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascherausrüstung, die entwickelt wurde, um die höchste Prozesskontrolle, Genauigkeit und den Waferdurchsatz zu erreichen. Ausgestattet mit leistungsstarken Ätz- und Backfunktionen kann AE 480 eine breite Palette von Halbleiteranwendungen wie Poly-Si-Gate-Ätzen, Source/Drain-Ätzen und Waferreinigung bedienen. LAM RESEARCH AE 480 unterstützt Kunden mit vollautomatischen Prozessen und modernster Prozesskontrolltechnologie bei der Lieferung bester Qualität, Ertrag und Durchsatz. AE 480 verfügt über ein 50-Wafer-Load-Lock-System, das eine einzigartige, effiziente und kostengünstige Wafer-Handhabungs- und Speicherlösung bietet. Es ist in der Lage, großformatige „viertelgeschnittene“ Wafer (bis zu 12 Zoll Durchmesser) zu verarbeiten, die ohne manuellen Eingriff zum und vom Ätzer/Ascher übertragen werden können. LAM RESEARCH AE 480 verfügt auch über eine fortschrittliche Echtzeit-Prozesssteuereinheit, mit der optimierter Kammerdruck, Spannung und Gasfluss während des gesamten Prozesszyklus aufrechterhalten werden können. AE 480 Ätzer/Ascher wird von einer flexiblen, dual-frequenten HF-Quelle angetrieben, die einen beispiellosen Ätz- und Backdurchsatz bietet. Der modulare Aufbau ermöglicht es Kunden, ihre Systeme an ihre spezifischen Fertigungsanforderungen anzupassen. Darüber hinaus trägt die fortschrittliche Prozessgasförderfähigkeit zur Aufrechterhaltung einer hohen Ätzrate bei, während die hohe Temperaturbackfähigkeit eine maximale Gleichmäßigkeit über alle Waferschichten gewährleistet. LAM RESEARCH AE 480 bietet Kunden zudem eine verbesserte Servicefähigkeit. Die Maschine ist mit einer offenen Architektur konzipiert, die einfach mit Komponenten von Drittanbietern wie Roboter- und Nachlagersystemen, thermischen Systemen und Förderern aktualisiert und konfiguriert werden kann. Darüber hinaus verfügt AE 480 über eine kundenfreundliche Netzwerkstruktur, die sowohl interne als auch Remote-Diagnose und -Wartung unterstützt. Dank der fortschrittlichen Funktionen und des robusten Werkzeugdesigns bietet LAM RESEARCH AE 480 seinen Kunden eine unübertroffene Leistung, die allen Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Mit seiner unübertroffenen Prozesswiederholbarkeit, fortschrittlicher Prozesskontrolle und Hochdurchsatzfunktionen ist AE 480 der ideale Ätzer/Ascher für höchste Produktqualität und Erträge.