Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 4.1 #293587281 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance 4.1 ist eine Halbleiter-Etch/Aser-Plattform, die in der Lage ist, Präzisionsätz-, Sputter- und physikalische Bedampfungsdienste für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Die Ausrüstung ist auf einer 11-Zoll x 10-Zoll-Plattform aufgebaut und mit zwei 4-Zoll-PVD (Physical Vapor Deposition) -Kammern ausgestattet. Die Plattform ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen, darunter das Ätzen und Reinigen von Substraten und das Abscheiden von Schutzschichten auf diesen. Es bietet auch ein- und mehrschichtige Abscheidung, ultradünne Filmabscheidung und Ätzen von MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Die Alliance 4.1 ist in der Lage, eine maximale Wafergröße von 4 Zoll zu handhaben und kann eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Siliziumdioxid und Photoresist verarbeiten. Darüber hinaus ermöglichen die eingebauten Steuerungssysteme die volle Kontrolle des Ätzprozesses einschließlich der Zeit- und Prozessparameter, was zu wiederholbaren und reproduzierbaren Ergebnissen führt. Die Alliance 4.1 wurde ergonomisch entwickelt, um Workflows zu optimieren und einen einfachen Zugriff auf alle Komponenten zu ermöglichen. Darüber hinaus ist das System mit einer hochauflösenden Kartierung ausgestattet, um Variationen in Wafern sowie Auf-Wafer-Temperaturverteilung abbilden zu können. Die Einheit ermöglicht auch eine zusätzliche Prozessfähigkeit wie das Abscheiden von eingebetteten Folien und Mehrmetallfolien für Mehrschichtanwendungen. Die Alliance 4.1 ist in der Lage, Prozessüberwachung und Echtzeit-Diagnose bereitzustellen, sodass Ingenieure den Status des Ätzprozesses bestimmen können. Darüber hinaus bietet es eine Bibliothek mit Standardrezepten, um die Programmierung zu erleichtern und ist mit Softwareplattformen nach Branchenstandard kompatibel. Zusätzlich ist die Maschine mit einem eingebauten Sicherheitswerkzeug ausgestattet, um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Insgesamt bietet die LAM RESEARCH Alliance 4.1 eine fortschrittliche und zuverlässige Ätzplattform für die Halbleiterindustrie. Es verfügt über verschiedene nützliche Funktionen, wie Prozessüberwachung, hochauflösendes Mapping und Kompatibilität mit Softwareplattformen nach Industriestandard, was es zu einer guten Wahl für jede Anwendung macht, die Präzisionsätzen oder Ablagerungen erfordert.