Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 4.1 #9182311 zu verkaufen
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ID: 9182311
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Etcher, 6"
(3) System monitors
TM LID: Cylinder open/close (manual type)
Wafer present sensors (WPS)
TM & VCE Pump option: Single pump type
Fab clean room configuration: Bulkhead
Robot:
BROOKS / MTR 5 / (2) Blades
Aux position 1: Aligner
Transport system control:
Transport VME
Multiplexer PCB
Load lock:
Auto door
VCE Elevator: Bellows seal
Mapping sensor includes
Cassette type: (25) Slots
VCE Vacuum isolation valves
TM Vacuum isolation valves
TM Pneumatic valves
Chamber position 1:
9400SE, 6"
Chamber process: Poly
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP-A1303
VAT 65 Pendulum valve
RF Generator TCP: ADVANCED ENERGY RFG1250 13.56MHz
RF Generator bottom: ADVANCED ENERGY Halo 1250 13.57MHz
Chamber position 2:
9400SE, 6"
Chamber process: Poly
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP-A1303 (Turbo missing)
VAT 65 Pendulum valve (VAT Valve controller missing)
RF Generator TCP: ADVANCED ENERGY RFG1250 13.56MHz
Chamber position 3:
9400SE, 6"
Chamber process: Poly
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP-A1303 (Turbo controller missing)
VAT 65 Pendulum valve (VAT Valve controller missing)
RF Generator TCP: ADVANCED ENERGY RFG1250 13.56MHz
Missing part:
Position 2 / 3: RF Generator bottom: ADVANCED ENERGY Halo 1250 13.57MHz
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 4.1 ist eine Ätz- oder Aschemaschine, die speziell für die Herstellung von elektronischen und Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist eine fortschrittliche Plattform für die Abscheidung von mehreren Funktionen auf einzelnen oder mehreren Substraten. Alliance 4.1 verfügt über eine leistungsstarke, kostengünstige und technisch fortschrittliche Ätzkammer. Es liefert robuste und zuverlässige Ätzprozessleistung für eine Vielzahl von Prozessen, Materialien und Anwendungen. Die überlegene Ätzfähigkeit des Alliance 4.1 ermöglicht die Ablagerung von Funktionen mit marktführender Präzision und hoher Genauigkeit. Dies wird durch die fortschrittlichen oberen und unteren Elektrodenstrukturen und den Einsatz präziser Materialmanagementsysteme erreicht. Das System nutzt eine invertierte Winkelsubstratorientierung, um ein präzises Ätzergebnis zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die Alliance 4.1 über eine integrierte Benutzeroberfläche mit erweiterten Steuerungsfunktionen. Die Einheit ist so konzipiert, dass Benutzer leicht mit der Ätzkammer interagieren können, einschließlich der Programmierung der spezifischen Parameter des Ätzprozesses. Diese fortschrittliche Steuerungsmaschine kann verwendet werden, um sicherzustellen, dass die gewünschten Ergebnisse erzielt werden, während die Kosten- und Prozessziele erfüllt werden. Die Allianz 4.1 verfügt über eine ultradünne Film Präzision Ätzkammer mit der Fähigkeit, Merkmale kleiner als 5 Nanometer zu produzieren. Es bietet auch Ätzprozesse, die geeignet sind, hochpräzise Anforderungen zu erfüllen, unter Beibehaltung der Kosteneffizienz. Darüber hinaus ist die Allianz 4.1 Ätzkammer so konzipiert, dass sie optimale Leistung und Zuverlässigkeit bei minimalem Wartungsaufwand bietet. Die Konstruktion des Werkzeugs ermöglicht eine schnelle Reaktion auf Prozessänderungen und sorgt für wiederholbare Prozessergebnisse. Darüber hinaus ist der Wartungsaufwand des Vermögenswertes minimal, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für kostensensible Anwendungen macht. Abschließend ist LAM RESEARCH Alliance 4.1 ein kostengünstiges und leistungsstarkes Ätzmodell, das die Möglichkeit bietet, mehrere Funktionen auf einzelnen oder mehreren Substraten mit marktführender Präzision und Genauigkeit abzulegen. Die integrierte Benutzeroberfläche und die fortschrittliche Steuerungsausrüstung bieten die Möglichkeit, den Ätzraum genau zu programmieren und sicherzustellen, dass die erforderlichen Ergebnisse erzielt werden. Damit ist die Alliance 4.1 eine ausgezeichnete Wahl für hochpräzise, kostensensitive Anwendungen.
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