Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 4720 #9192401 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance 4720 ist ein hochzuverlässiger, vollautomatischer, chargenartiger, induktiv gekoppelter Plasmareaktor (ICP) für Ätz- und Ascheprozesse. Es ist eine hoch kontrollierbare, volumetrische Prozessausrüstung, die sich ideal für das Ätzen und Aschen in der Produktion eignet. Dieses System ist in der Lage, mehrere Prozessrezepte in einer einzigen Einstellung auszuführen, was eine präzise Steuerung der Prozessvariablen ermöglicht. Das Gerät verfügt über einen Vier-Fähigkeiten-Kern, der überlegene Ätz-/Ascheergebnisse liefert. Es ist mit einem 3-achsigen mechanischen Roboterarm zur präzisen Handhabung von Wafern in einer geschlossenen Umgebung und einer automatisierten Wafer-Handhabungsmaschine für eine sichere und effiziente Verarbeitung von Wafern ausgelegt. Darüber hinaus verfügt Alliance 4720 über ein dynamisches Gasregelungswerkzeug, ein Temperaturregelungsmodul, ein Druckregelungsmodul und eine Sicherheitssperre, die unsachgemäße Bedienung verhindert. Die dynamische Gassteuerung des Modells ermöglicht präzise Ätz-/Ascheparameter, die für die heutigen anspruchsvollen Fertigungsanforderungen erforderlich sind. Das Temperatur- und Druckregelmodul sorgt für eine konsistente Prozessheizung und Druckregelung. Ein Optogasanalysator ist auch für die Echtzeit-kontinuierliche Überwachung von Prozessgasen enthalten. LAM RESEARCH Alliance 4720 wird durch die zuverlässigsten verfügbaren Gas- und Chemieversorgungssysteme unterstützt. Es wird mit der fortschrittlichen Kommunikations- und Controller-Architektur von LAM betrieben, mit der Anwendungen aus der Ferne modifiziert, gesteuert und überwacht werden können. Es unterstützt sowohl Bedienoberfläche als auch automatisierte Steuerung. Das System enthält auch Standard-Wartungsalarme zur Verfolgung von Temperatur, Druck und Gasfluss. Dieser Ätzer/Ascher kann bis zu 6 "Waferdurchmesser verarbeiten. Seine gleichmäßige Ätz-/Ascheleistung über eine Vielzahl von Substraten und unterschiedliche Prozessanforderungen sorgen für zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse. Alliance 4720 ist auch in der Lage, Kassetten von bis zu 40 Wafern auf einmal zu verarbeiten und somit für die Produktion auf Waferebene geeignet. Darüber hinaus ist die Einheit durch das LAM Alliance Certified-Programm zertifiziert und gewartet und garantiert die qualitativ hochwertigsten Komponenten.