Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 6.0 TCP 9400 PTX #9024652 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9024652
Dry etcher, 8"
CASS NEST PLASTIC 8"
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
SMIF Interface NO
System Information:
Platform type ALLIANCE 6.0
Process chamber qty 3
Software version A2.2-018
SECS/ GEM yes
Chamber Location / Type / Current process:
Position 1 (PM1) TCP9400PTX / Poly etch
Position 2 (PM2) TCP9400PTX / Poly etch
Position 3 (PM3) TCP9400PTX / Poly etch
Position 4 (PM4) none
Etch Chamber:
Chamber type TCP9400PTX
Turbo pump EDWARDS STP-A1303CV80
Turbo N2 fixed or MFC Type Fixed
Helium UPC UPC-8130
Endpoint detector none
Pendulum valve model VAT 65046-PH52-ADE
Chamber Manometer MKS E29B-23813
Turbo Manometer MKS 625A-14375
Foreline Manometer MKS 625A-14059
Helium Manometer yes
Top RF generator model AE / 3155059-026
Bottom RF generator model AE / 3155059-028 (RFG1250 HALO)
TCP Match yes
Bias Match yes
TOP RF Sense Box yes
Bias RF Sense Box yes
Auto Tune Board yes
DIP Board yes
VCI Connected No
Gas configuration and setup:
Chamber volume used for gas cal 36200 ml
Gas Box:
type Extended capability gas box – Phase II
gas box qty 3 (stacking)
manual valve yes on each line
pressure gauge yes on each line
regulator yes on each line
filter yes on final line
Gas Panel Pallet:
gas line qty with N2 purge line 8
gas line qty without N2 purge line 0
MFC type UFC-1661 / UFC-1660 / UFC-8160
Gas line (gas name, MFC size)
PM1
line 1 O2 100 / UFC-1660
line 2 NF3 100 / UFC-1661
line 3 He 200 / UFC-1660
line 4 CF4 200 / UFC-1660
line 5 SO2 100 / UFC-1660
line 6 SF6 200 / UFC-1660
line 7 Ar 200 / UFC-1660
line 8 none
PM2
line 1 O2 100 / UFC-1660
line 2 NF3 100 / UFC-1661
line 3 He 200 / UFC-1660
line 4 CF4 200 / UFC-1660
line 5 SO2 100 / UFC-1660
line 6 SF6 200 / UFC-1660
line 7 Ar 200 / UFC-1660
line 8 none
PM3
line 1 O2 100 / UFC-1661
line 2 NF3 100 / UFC-1661
line 3 He 200 / UFC-1661
line 4 CF4 200 / UFC-1660
line 5 SO2 100 / UFC-1660
line 6 SF6 200 / UFC-1660
line 7 Ar 200 / UFC-1660
line 8 none
Mainframe:
Loadlock Dual VCE Loader / Manual Door open
Robot type BROOKS MagnaTrain 7 (with Dual aluminum blade)
EMO button front, side
Signal tower (front) green, yellow, red
Remotes:
RPM
Qty 1
EMO button yes
Line frequency and voltage 208VAC 3ph
Remote UPS interface yes (105V 1ph)
UPS yes
System monitor display 1 (front)
Heat Exchanger Type:
For Cathode NOAH PRECISION, LLC / Model 3300 (-20 ~ +90degC)
qty 3
Pumps Type:
Transfer Module EBARA A70W (not included in scope, needed to confirm)
PM1 EBARA A30W (not included in scope, needed to confirm)
PM2 EBARA A30W (not included in scope, needed to confirm)
PM3 EBARA A30W (not included in scope, needed to confirm)
Gas Scrubber:
qty 1
Type EBARA GTE-3-0WVT (not included in scope, needed to confirm)
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 6.0 TCP 9400 PTX ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der den anspruchsvollsten industriellen Verarbeitungsanforderungen gerecht wird. Die PTX verfügt über fortschrittliche Technologien, die auf überlegene Leistung und Effizienz ausgelegt sind. Die Ausstattung verfügt über eine Reihe von Funktionen, die eine kostengünstige und effiziente Produktion ermöglichen. Sie besteht aus einer Prozesskammer, einer Gasquelle, einer thermischen Quelle, einem Gaskasten, einem Prozeßsequenzer, einem Substratgrößendetektor, einer Gleichspannungsversorgung und einer HF-Stromversorgung. Diese Kombination von Komponenten bietet ein effizientes und produktives anisotropes Ätz- und Aschesystem. Die Prozesskammer ist mit Besonderheiten für eine gleichmäßige und wiederholbare Verarbeitungsqualität ausgelegt. Das HF-Netzteil liefert präzise und kontrollierte Leistung für präzises Ätzen und Aschen. Die Temperatur- und Gassteuereinheit stellt sicher, dass alle Facetten der Prozesschemie genau überwacht und gesteuert werden, um wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. Die Gasquelle ist für eine breite Palette von Möglichkeiten ausgelegt, einschließlich der Lieferung verschiedener Prozessgase wie Cl2, SF6, O2 und Ar. Die Wärmequelle ist in die Maschine integriert und bietet eine kostengünstige Lösung für wiederholbare anisotrope Ätz- und Ascheprozesse. Ein integrierter Gaskasten steuert die Mischung von Prozessgasen für präzises Ätzen und Aschen. Der Prozess-Sequenzer bietet Prozesssteuerung und ermöglicht es dem Werkzeug, sich automatisch auf verschiedene Prozessbedingungen einzustellen. Die Substratgrößenerfassungsfähigkeit gewährleistet die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Ätz- und Ascheprozesses. Die DC-Vorspannung ermöglicht eine Verbesserung der Ätz- und Ascheraten auf Basis von Substratmaterial und Prozessbedingungen. Insgesamt ist LAM RESEARCH Alliance 6.0 TCP 9400 PTX ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der den Anforderungen industrieller Verarbeitungsanlagen gerecht wird. Es verfügt über anspruchsvolles Design und fortschrittliche Technologien, um wiederholbare Ergebnisse und außergewöhnliche Leistung zu gewährleisten.
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