Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 6 #9145733 zu verkaufen
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ID: 9145733
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Transport module, 8"
Robot:
Position: Transfer
Maker: BROOKS
Model: Mag 7
(2) Blades
System monitor:
(3) Monitors
Load lock:
Load lock type: Auto door
VCE Elevator: Bellows
Mapping sensor
VCE Gate valve
VCE Vacuum isolation valves
TM Vacuum isolation valves
TM Pneumatic valves
Cassette type:
(25) Slot cassettes
TM Lid:
Pneumatic cylinder lift
Up / Down actuate switch
Transport system control:
Transport VME ( MVME 147-011, VME335, DIOXVME-240 )
Multiplexer PCB
Light tower PCB
Chamber:
Position I:
Chamber type: Empty
Position II:
Chamber type: Empty
Position III:
Chamber type: Empty
Position IV:
Chamber type: Empty
Aux Position I:
Chamber type: Aligner
AUX Position II:
Chamber type: Empty
Gas boxes:
PM 1
PM 4
PM 2:
MFC Channel Gas MFC Type MFC Size (SCCM)
AC 01 - CHA C4F8 FC-D980CU 50
AC 02 - CHA O2 FC-D780CU 100
AC 03 - CHA CHF3 FC-D780CU 50
AC 04 - CHA CF4 FC-D780CU 200
AC 05 - CHA O2 (30%) HE FC-D780CU 100
AC 06 - CHA C4F6 FC-D780CU 50
AC 07 - CHA CH2F2 FC-D780CU 100
AC 08 - CHA CF4 FC-D780CU 1000
AC 09 - CHA H2 FC-D780CU 1500
AC 10 - CHA Ar FC-D780CU 1000
AC 11 - CHA N2 FC-D780CU 1000
AC 12 - CHA O2 FC-D780CU 3000
PM 3:
MFC Channel Gas MFC Type MFC Size (SCCM)
AC 01 - CHA C4F8 FC-D780CU 50
AC 02 - CHA O2 FC-D780CU 100
AC 03 - CHA CHF3 FC-D780CU 50
AC 04 - CHA CF4 FC-D980CU 200
AC 05 - CHA O2 (30%) HE FC-D780CU 100
AC 06 - CHA C4F6 FC-D780CU 50
AC 07 - CHA CH2F2 FC-D780CU 100
AC 08 - CHA CF4 FC-D780CU 1000
AC 09 - CHA H2 FC-D780CU 1500
AC 10 - CHA Ar FC-D780CU 1000
AC 11 - CHA N2 FC-D780CU 1000
AC 12 - CHA O2 FC-D780CU 3000
Standard signal tower
Wafer present sensors (WPS)
TM & VCE Pump: Single pump type
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 6 ist ein eigenständiger Ätzer und Ascher, der für serienmäßige Präzisionsanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet eine effiziente, kostengünstige Plattform für F&E- und Produktionsumgebungen. Alliance 6 bietet eine breite Palette von Funktionen für optimale Verarbeitungseffizienz, hohe Leistung und Einheitlichkeit. LAM RESEARCH Alliance 6 ist eine Mehrkammerausrüstung mit einer automatisierten Transferstation, die mit bis zu sechs Kassetten für mehr Durchsatz arbeitet. Es bietet einheitliche vertikale und horizontale Profile mit Optionen für Standoff, dielektrische und isotrope Ätzanwendungen. Das Systemdesign bietet auch eine breite Palette von Ätzneigungssteuerung und Gleichmäßigkeit, sowie die Fähigkeit, Ätzprozesssteuerungsparameter zu optimieren. Darüber hinaus bietet das Gerät eine breite Palette von Funktionen zur Kontrolle der Partikelverunreinigung und zur Vermeidung von Prozesspartikelverunreinigungen. Es verwendet eine automatisierte Hochvakuum-Abgasmaschine, die die Prozessumgebung ständig erneuert und den Aufbau von Prozessnebenprodukten verhindert. Das Werkzeug verfügt außerdem über ein optionales Wäscher-Vakuum-Feature, das Partikel effizient von den Kammerwänden entfernt. Alliance 6 ist für den Betrieb in einem 3-Zoll oder 4-Zoll-300mm-Wafer-Carrier-Asset konzipiert und verfügt über einen automatisierten Feeder zum Laden von Wafern und einen Roboterarm zum Entladen. Es verwendet eine Kombination aus parallelen und nicht parallelen Kammerkonfigurationen, um Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Dicke zu erreichen. Es verwendet auch mehrkanalige, Dual-Polarität RF-Leistung, um ein gleichmäßiges Ätzen mit niedriger Fehlerrate zu gewährleisten. LAM RESEARCH Alliance 6 verfügt über eine konfigurierbare Kathodenanordnung mit einer Hauptkathodenstation, die sowohl eine Platte als auch eine Gitterelektrode für eine optimierte temikale Ätzung aufweist. Das Modell verwendet erweiterte Diagnosen, einschließlich Wafer-Mapping, um eine genaue Ätzrückwirkung zu gewährleisten. Es verfügt auch über Hochtemperaturkontrolle, schnelle Kathodendrehung und chemische Lieferung Ausrüstung für präzise chemische Kontrolle. Alliance 6 verwendet fortschrittliche Software, um die Prozessparameter während des gesamten Laufs zu steuern und ein kontinuierliches Feedback der Kammerleistung zu liefern. Dies ermöglicht eine kontinuierliche Optimierung von Prozessparametern und einheitlichen Profilergebnissen. Dieses System ist auch für die Fernüberwachung und Datenverwaltung über das Internet und Intranet sowie die Möglichkeit zur Übertragung von Rezepten und Leistungsdaten auf PCs oder Netzwerkdatenbanken konzipiert.
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