Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293666065 zu verkaufen
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ID: 293666065
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der hervorragend präzise Ätz- und Ascheprozesse bereitstellt. Die Alliance 9100 PTX verwendet verschiedene Plasmaquellen, einschließlich Hochfrequenzanregung (RF) und Mikrowellenanregung und bietet höchste Genauigkeit und Effizienz in einem einzigen Werkzeug. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX verfügt über ein modulares Design für maximale Leistung und Zuverlässigkeit in der Produktion. Die Werkzeugkomponenten sind für eine hochpräzise Ausrichtung und Wiederholbarkeit ausgelegt, sodass sie maximale Genauigkeit und Gleichmäßigkeit bei Ätz- und Ascheprozessen bieten. Es bietet auch zwei Verfahrensvarianten, je nach zu ätzendem oder zu aschendem Material. Die erste ist ein Niederdruck-Ätzer/Ascher, und die zweite ist ein atmosphärisches Druckplasma (APP) System. Auf diese Weise kann die Maschine das am besten geeignete Verfahren für eine Vielzahl von Materialien bereitstellen, einschließlich Polymeren, Polysilizium und Nicht-Silizium-Vorrichtungen. Alliance 9100 PTX ist ein hochgradig anpassbares Tool, mit dem Benutzer die Prozessparameter an ihre genauen Anforderungen anpassen können. Es kann auch in die proprietären EPT2 Prozesssteuerungssysteme von LAM integriert werden, wodurch Benutzer Zugriff auf erweiterte Prozesssteuerung erhalten, um wiederholbare, optimierte Ätz- und Auswertungsergebnisse über mehrere Laufzeiten hinweg sicherzustellen. Verschiedene Ätz- und Aschekonfigurationen stehen auch zur Verfügung, um unterschiedliche Anforderungen zu erfüllen. Insgesamt ist die LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX eine ideale Lösung für die hochpräzisen Ätz- und Veraschungsanforderungen branchenführender Hersteller. Es liefert zuverlässige Ergebnisse, die die Erwartungen kontinuierlich übertreffen und eine außergewöhnliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungsanforderungen bieten. Es bietet auch beispiellose Flexibilität und Prozesskontrolle, so dass Benutzer die Prozessparameter schnell anpassen können, um wiederholbare, optimierte Ergebnisse zu gewährleisten.
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