Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293754418 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293754418
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX ist ein Ätz-/Aschewerkzeug für die nächste Generation der Halbleiterverarbeitung. Mit seiner hohen Leistung und Präzision ist die 9100 PTX ideal für die komplexe Geräteherstellung mit einer Vielzahl von Prozessen. Seine überlegene Ätz-/Ascheleistung, gepaart mit seinen fortschrittlichen, effizienten und zuverlässigen Verarbeitungsfunktionen, machen es zur perfekten Wahl für die anspruchsvollsten Geräte- und Materialverarbeitungsanwendungen. Alliance 9100 PTX ist in der Lage, sowohl trockene als auch nasse Ätz-/Ascheoperationen durchzuführen, die von schnellem Ätzen/Aschen von Dielektrika bis zu ultrapräzisen Prozessen mit selektivem Ätzen/Aschen von Metallen reichen. Es verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Extraktions-/Kompressionsprozess, der einen schnellen Ätz-/Aschedurchsatz mit Kanten-zu-Kanten-Gleichmäßigkeit und minimalen Beschädigungen gewährleistet. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX verfügt auch über ein fortschrittliches Säureunterdrückungssystem, das die Ätz-/Aschezykluszeiten reduziert, was zu einer erhöhten Produktionseffizienz führt. Alliance 9100 PTX bietet zudem eine große Auswahl an effizienten und kostengünstigen nachgelagerten Handlingoptionen. Dazu gehören Kassettenbeladung, SCARA-Roboterkassettentransportsystem sowie vertikale und/oder horizontale Einzelkassettenbelastungs- und Entladeverfahren. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX bietet auch vollautomatische Wafer-Freigabe und Entladung, wodurch der Bedieneraufwand entfällt. Dies sorgt für eine verbesserte Durchsatzleistung und erhöhte Geräteausbeuten. Alliance 9100 PTX verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche, die alle notwendigen Bedienelemente für eine optimale Ätz-/Aschebedienung bietet. Es hat auch eine integrierte Rezeptbearbeitungsfunktionen für die Erstellung von erweiterten Rezepten, sowie leistungsstarke Daten-Protokollierung Funktionen für eine genaue Datenanalyse der Ätz-/Ashing-Ergebnisse. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX unterstützt moderne Kommunikationsprotokolle, wie z. B. Ethernet, sodass Benutzer von jedem beliebigen Standort aus einfach auf Ätz- und Aschedaten zugreifen können. Insgesamt ist Alliance 9100 PTX ein fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug, das für die anspruchsvollsten Geräte- und Materialbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Mit seiner hohen Leistung, Präzision und fortschrittlichen Funktionen bietet die 9100 PTX zuverlässige Ätz-/Ascheleistungen mit reduzierten Zykluszeiten und verbesserten Geräteerträgen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor