Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 9400 DSiE #9082559 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance 9400 DSiE ist ein High-End-Ätzer/Ascher, der in der fortschrittlichen Halbleiterproduktion verwendet wird. Es ist für das präzise, hochpräzise Ätzen und Aschen sowohl widerstandsfähiger als auch dielektrischer Materialien ausgelegt. Es verfügt über eine modulare Architektur, die anpassbare Operationen und vorinstallierte Prozessrezepte für eine optimale Halbleiterproduktion ermöglicht. Der 9400 DSiE verfügt über einen Hochleistungs-Induktionsofen mit einer Leistung von 25 kW. Dieser Induktionsofen bietet eine präzise Temperaturregelung mit einem Temperaturbereich von 40 bis 1700 ° C. Er ist auch für Niederdruck- oder Vakuumbetrieb ausgelegt, mit einem Verdampfer, der auf reines Vakuum abpumpen kann. Das 9400 DSiE verfügt zudem über ein Infrarot-Pyrometer zur präzisen Temperaturmessung. Der 9400 DSiE verfügt über acht unabhängig voneinander gesteuerte Gasventile mit digitaler Durchflussmesssteuerung. Es wird mit einem schnellen ausgestattet - verbinden Sammelleitung und einen Unterdruckfall, Konstantenflussverteilersystem. Der 9400 DSiE verfügt auch über eine Ferndrucküberwachung, die eine einfache Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht. Der 9400 DSiE ist mit fortschrittlichen Ätz- und Aschetechnologien ausgestattet, darunter Plasma Enhanced Wässrige Ätzung (PEAE), Ion-Beam Enhanced Etching (IBEE) und Atomic Layer Deposition (ALD). Es unterstützt auch eine breite Palette von Prozessgasen, einschließlich Chlor, Argon, Ammoniak und Fluorkohlenwasserstoffe. Der 9400 DSiE ist für eine breite Palette von Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm bis 450 mm konzipiert. Alliance 9400 DSiE kombiniert fortschrittliche Technologie und Engineering mit Zuverlässigkeit und benutzerfreundlicher Bedienung. Es ist eine ideale Wahl für fortgeschrittene Ätz- und Ascheprozesse in der Halbleiterproduktion. Es ist äußerst zuverlässig, einfach zu bedienen und ermöglicht sehr detaillierte und präzise Ätz- und Aschevorgänge.