Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 9400 #9035897 zu verkaufen

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ID: 9035897
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LAM RESEARCH Alliance 9400 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für präzises Ätzen und Aschen von Halbleiterbauelementen und -materialien. Verarbeitungsleistung und Präzision sind entscheidend für Produkte und Technologien, die oft strenge Fertigungstoleranzen erfordern. Alliance 9400 wurde entwickelt, um schwierige Prozesse mit höherem Durchsatz, verbesserter Kontrolle und geringeren Kosten zu bewältigen. LAM RESEARCH Alliance 9400 verfügt über eine erweiterte Multi-Zone-beheizte Kuppel und Kammerdesign, die Prozess-Einheitlichkeit und Funktionsprofil von fortgeschrittenen Gerätestrukturen maximiert. Die mehrzonige, kaskadierbare Kuppel minimiert die Temperaturdifferenzierung von Zentrum zu Rand und erfordert kein Nachglühen. Die Mehrzonenkammerkonstruktion sorgt für horizontale Thermo- und Plasmagleichförmigkeit bei axialer Strömung durch unabhängige entlüftete Zonen. Alliance 9400 ist eine kostengünstige Lösung für fortschrittliche Gerätestrukturen und -prozesse. Die fortschrittliche Plasmaquellentechnologie (APS) sorgt für mehr Prozessflexibilität und hohe Leistung in jeder Anwendung, indem sie eine große Auswahl an konfigurierbaren Parametern bereitstellt. Die LAM RESEARCH Alliance 9400 verfügt zudem über eine einzigartige automatisierte Prozesssteuerung, die flexible Rezepte ermöglicht, die die Effizienz maximieren und Abfälle minimieren. Das geschlossene Prozessleitsystem überwacht die Prozessleistung und implementiert Rückkopplungssteuerungsalgorithmen, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleisten. Alliance 9400 bietet eine sichere Umgebung für jeden Ätz- oder Ascheprozess. Es verfügt über eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen wie ein automatisiertes Prozesskontrollkalorimeter, einen variablen Temperaturbetrieb, ein spezielles Brand-/Rauchmeldersystem und ein automatisches Sicherheitsventil-Absperrsystem. Die LAM RESEARCH Alliance 9400 ist auch mit einem integrierten Abgasgebläse ausgestattet, das das Risiko von Partikeln in der Luft und anderen gefährlichen Partikeln minimiert. Zusammenfassend ist Alliance 9400 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für präzise Prozessanwendungen, der auf optimale Effizienz, Kosteneinsparungen und Sicherheit ausgelegt ist. Es verfügt über mehrzonige beheizte Kuppel- und Kammerdesigns, die die Prozessgleichmäßigkeit und die Profilgenauigkeit beibehalten, mehrzonige Kammer, die thermische und Plasma-Gleichmäßigkeit in einer sicheren Umgebung gewährleistet, und eine automatisierte Prozesssteuerung mit flexiblen Rezepten für höchste Leistung und minimalen Abfall.
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