Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764316 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX ist ein Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Dieses Werkzeug wird zum Strukturieren, Entfernen und Dotieren einer Vielzahl von Materialien von Aluminium bis Silizium und Photoresist verwendet. Es ist aufgrund seiner Skalierbarkeit, Flexibilität, hohen Durchsatz und geringen Betriebskosten für den Einsatz in einer Vielzahl von Produktionsszenarien konzipiert. Der Kern von Alliance 9600 PTX ist seine Ätz- und Veraschungsfunktionen. Das Gerät ist mit einem zweistufigen RFpowered Trockenätz-/Aschesystem zur präzisen Steuerung des Ionenstrahls ausgestattet. Diese Lösung ist in der Lage, Schichten bis zu 5 Nanometer (nm) mit einem typischen Prozessfenster von 0,03-10nm zu entfernen. Dieses System ist in der Lage, Metall, Oxide, Nitride, Polysilizium und andere Materialien für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu ätzen. Die Maschine enthält auch einen hochvakuumkompatiblen Sicherheitsverschluss, um das Austreten von Gas oder Partikeln beim Ätzen und Aschen zu verhindern. Weitere Vakuumkomponenten, wie eine Turbo-Molekularpumpe, sind für verbesserte Ätzleistung und Kontrolle enthalten. Dies gewährleistet reproduzierbare Ätz- und Ascheprozesse für ein breites Anwendungsspektrum. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX verfügt über eine leistungsstarke, aber einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, die die Prozesseinrichtung und -überwachung vereinfacht. Die Dual Computer Interface (DCI) -Integration ermöglicht die Positionierung von Controllern bis zu 50 Meter vom Ätz-/Aschewerkzeug entfernt, wodurch die Maschinenmessung und der Einstellport von einem bequemen externen Standort aus zugänglich sind. Schließlich steht eine Lastverriegelungsoption zur Verfügung, die eine automatische Belastung eines Werkstücks in die Ätz- und Aschekammer ermöglicht. Die Maschine ermöglicht die Integration in Produktionsautomatisierungssysteme, so dass Prozesse mit minimalem Aufwand einfach automatisiert und überwacht werden können. Zusammenfassend ist Alliance 9600 PTX eine leistungsstarke und wirtschaftliche Lösung zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialien für den Einsatz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Seine geringe Stellfläche, Ätz-/Aschefähigkeit, integrierte Sicherheitsverschluss, leistungsstarke GUI und Flexibilität macht es zu einem idealen Werkzeug für jede Produktionsumgebung.