Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764644 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Halbleiter- und andere Materialbearbeitung. Die Ausrüstung ist für Photoresist Strippen, tiefes Siliziumätzen und Metallätzen konzipiert. Die Alliance 9600 bietet eine hochpräzise Prozesssteuerung und umfasst eine Vielzahl von Prozessmodulen, um eine präzise Kontrolle über eine Vielzahl von Substraten und Prozessen zu ermöglichen. Für Präzisionsanwendungen unterstützt die Alliance 9600 den Einsatz verschiedener Arten von Ätzgasen sowie die Verarbeitung variabler Temperaturen und eine hochgenaue Druckregelung. Das System bietet auch Kühlfunktionen, automatische Wafer-Positionseinstellung, Vakuum- und Vakuumdichtungseinstellung, Rezepte für mehrere Prozessläufe, Fernüberwachung und automatisierte Prozessdatensammlung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine automatisierte Waferübertragungsmaschine für Ätz- und Ascheprozesse. Alliance 9600 PTX ist mit einem genauen Gasförderwerkzeug ausgestattet, um eine präzise Kontrolle des Ätzgases und der Temperatur zu ermöglichen. Die Anlage verfügt außerdem über einen Gasmonitor zur Überwachung von Ätzgasmolekülen und eine integrierte Gasflasche zur Langzeitspeicherung. Gasflaschen werden mit flexiblen Schläuchen an das Modell angeschlossen, die die Einheit sicher mit dem Prozess verbunden halten. Die Allianz bietet auch eine fortschrittliche Photoresist Entfernung Ausrüstung, mit integrierten Komponenten wie Düse, Wäscher, optionale Wäscher Verlängerung, und Fase Klinge. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX bietet eine umfassende Prozesssteuerung einschließlich einer umfassenden Reihe von Prozessgasrezepten. Es verfügt auch über rezeptbasierte Prozessüberwachung und optionale automatische Temperaturregelung, um gleichmäßige Ätztiefen über mehrere Substrate zu ermöglichen. Das Modell Alliance 9600 verfügt über eine vierstufige Niederdruckquelle und zwei unabhängige Netzteile mit seriellem RS-232-Zugriff sowie eine Sicherheitsverriegelung, die mit einer zeitgesteuerten Sperrung programmiert werden kann. Das System verfügt zudem über eine optionale manuelle oder automatische Druckeinstellung zur manuellen Druckregelung. Alliance 9600 PTX ist ein umfassendes Ätzer-Ascher-Paket, das für die Präzisionsbearbeitung einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde. Seine Gasfördereinheit, Temperaturregelung und Druckregelung sorgen für eine präzise Prozesssteuerung. Seine Vielzahl an optionalen automatischen und manuellen Prozesssteuerungsfunktionen, wie Rezepte, Gasmonitor, automatische Wafer-Positionierung und Vakuum- und Dichtungsanpassung, machen es zu einer idealen Wahl für anspruchsvolle Ätz- und Ascheranforderungen.
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