Gebraucht LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9233428 zu verkaufen
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ID: 9233428
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Etcher, 8"
Transfer chamber:
VCE Type: LIP Seal
Aligner: 001-4130-03
Transfer robot: BROOKS Magantran 7
ARM Type: Dual thin blade
Rocker valve P/N: 715-012208-001
LL & TM Pressure gauge: HPS Series 907 / MSK
Cooling station
Turbo pump model: STP-H200C
Etch chamber: PM2 / PM3
Turbo pump: STP-1301L / STP-H1303CV3
Chamber: TCP 9600 PTX
Pressure gauge: MSK E29B-23813 (0.1 Torr) / 625A11TDE (10 Torr)
Throttle gate valve: VAT 65046-PH52-AFI1 / 0052
Source RF generator: RFDS 660-024637-006
Bias RF generator: RFG 1250 HLAO
Configuration of MW chamber: PM1 / PM4
Chamber: Alliance stripper
Throttle gate valve: VAT/64040-PE52-1009/0429
MW Generator: ASTEX FI10021
MFC:
PM1: O2 5000sccm / N2 1000sccm
PM4: O2 5000sccm / N2 1000sccm
Gas panel / Etch chamber: PM1 / PM4
Gas panel: 8 Channels
(6) Gas channels
MFC Model: TYLAN 2950 Series
Gas: PM1 / PM4
Ar 100 sccm
CHF3 100 sccm
O2 200 sccm
N2 50 sccm
CL2 200 sccm
BCL3 200 sccm
AC Rack:
Power supply: 208 VAC, 400 A, 50/60Hz, 3 Phase, 4 Wire
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um modernste Verarbeitungstechnologien für die genauesten und präzisesten Ätz- und Ascheergebnisse zu integrieren. Dieses System bietet verbesserte Leistung, verbesserten Durchsatz, erhöhte Verfügbarkeit und niedrigere Betriebskosten für Benutzer. Alliance 9600 PTX ist in der Lage, Substrate von 75mm bis 152mm zu verarbeiten. Diese Einheit wurde entwickelt, um extrem schnelle Zykluszeiten für Ätz-/Aschebedürfnisse in der Halbleiterindustrie zu liefern. Die Alliance 9600 ist mit High-End-Funktionen für eine hervorragende Materialbearbeitung ausgestattet. Mit der PEDC-Technologie werden ultrakurze Impulse verwendet, um extrem präzise und präzise Ätzen/Aschen zu erreichen, um die Produktion von Geräten mit kleineren und höheren Dichten zu erleichtern. Die Maschine ist auch für naßchemische und trockene Ätz-/Ascheprozesse ausgelegt. Der Cross-Flow Filter verfügt über ein integriertes Filament zur schnellen Wiederherstellung von Nebenprodukten nach dem Prozess. Das beheizte Trommeldesign bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit und minimiert die Variation in der Oberflächentopographie mit seiner verbesserten Mehrzonen-Temperaturregelung. Der integrierte Sammler speichert die Post-Process-Wafer für die Müllabfuhr. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX bietet auch erweiterte Steuerungsfähigkeiten. Das aktualisierte InfinityFlex™ Control ist ein umfassendes Softwarepaket, das zahlreiche leistungsstarke Funktionen wie Echtzeitprozess und Rezeptverfolgung, vorausschauende Wartung, Rezeptoptimierung und Ferndiagnose bietet. Das Tool bietet auch eine Bedienung mit einem Knopf und eine automatische Kalibrierung für eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche. Die Prozessgenauigkeit wird auch mit In-situ-Messtechnik optimiert, um sicherzustellen, dass präzise, konsistente und wiederholbare Ergebnisse generiert werden. Alliance 9600 PTX ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Ätz-/Aschersystem, das erweiterte Funktionen für eine breite Palette von Ätz-/Ascheprozessen in der Halbleiterindustrie bietet. Mit umfassenden Steuerungsfähigkeiten und verbessertem Durchsatz trägt das PTX-Modell LAM RESEARCH Alliance 9600 dazu bei, die Komplexität und Kosten der Werkzeuge zu reduzieren und gleichzeitig Ausfallzeiten zu verringern und die Prozesseffizienz zu maximieren.
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