Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL #9169591 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL
ID: 9169591
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Etchers, 8" 1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL ist ein Ätzer/Ascher, der für eine breite Palette von Anwendungen entwickelt wurde, die hochvolumiges, hochauflösendes Ätzen erfordern. Es wurde mit einer modularen Plattform entworfen, die es ermöglicht, eine Reihe von Ätzprozessen zu bewältigen. Die Maschine hat eine 4-Kammer-Architektur, wobei die dritte Kammer zum isotropen Ätzen von Silizium-Mangan-Materialien verwendet wird. Es bietet eine präzise Prozesssteuerung und eine breite Palette von Prozessparametern, so dass Anwender komplexe Strukturen in eine Reihe von Materialien ätzen können. Die A4 4420XL verfügt über eine bordeigene hocheffiziente Gasfördereinheit, die eine hoch kontrollierte, programmierbare, hochpräzise Ätzlösung bietet. Der Ätzprozess hängt von einer Kombination von Reagenzien, Druck und Temperatur ab und LAM RESEARCH hat spezifische Reagenzrezepte und kundenspezifische Gasströme entwickelt, um bestmögliche Ergebnisse zu erzielen. Die Maschine verfügt auch über ein optisches Kantenerkennungssystem, das es erlaubt, hochpräzise Strukturen genau zu ätzen, während das mehrstufige Druckmessgerät eine kontinuierliche Rückkopplung in die Prozesskammer bietet, wodurch die Gleichmäßigkeit des Ätzens über einen langen Zeitraum ermöglicht wird. Dieser Ätzer/Ascher ist in der Lage, mit einer Geschwindigkeit von bis zu 0,01 Mikron pro Sekunde zu ätzen, was eine breite Palette von Ätzdicken für eine Reihe von Substraten ermöglicht. Es bietet auch flexible Prozesssteuerung mit der Fähigkeit, Gasfluss, Druck und Temperatur anzupassen, um mehrstufige Prozesse wie Schichtübertragung, Dickschichtmetallätzen oder Würfeln zu erfüllen. Darüber hinaus ist die A4 4420XL kompatibel mit einer Reihe von Wafer-Auflageflächen, von Glas und Quarz bis hin zu Silizium und Low-K-Geräten. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH ALLIANCEA4 4420XL ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der Anwendern eine vielseitige Lösung für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen bietet. Es bietet ein hocheffizientes Paket mit einem präzisen Prozessleitsystem, hochpräzisem Ätzen und einer Reihe von Substraten. Eine Reihe von Merkmalen, wie das optische Kantenerkennungssystem und das mehrstufige Manometer, stellen sicher, dass es in der Lage ist, konstant präzise Ergebnisse sowohl für stark genutzte als auch für Anwendungen mit geringem Volumen zu erzielen.
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