Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 4520 #9272823 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A4 4520 ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in fortgeschrittenen Musteranwendungen entwickelt wurde. Es ist ein Mehrquellen-Ätzwerkzeug mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen wie einem vollautomatischen Substratpositionierer, integrierter Wafer-Handhabung und einem Reaktor mit hoher Abscheidungseffizienz. Dieses Gerät liefert ein hochpräzises Ätzergebnis mit Produktionskapazitäten mit hohem Durchsatz. Das System ist in der Lage, Substrate bis 200 mm Durchmesser zu handhaben und kann eine Reihe von Prozessgasen wie Sauerstoff, Argon, Stickstoff und Chlor aufnehmen. Es verfügt auch über eine mehrstufige Ätzkammer mit High-End-Vakuumturbinentechnologie zur Unterstützung von Hochdruckbetrieb. Die fortschrittliche Regler- und Reglereinheit ermöglicht die Einstellung von Ätzraten im Nanosekundenbereich für präzise Ätzergebnisse. Die integrierte Wafer-Handhabungsmaschine der Alliance A4 4520 umfasst einen Freilader und ein Teilsystem, das Substrate genau auf der Oberseite des Verteilers verfolgt. Das Wafer-Handler-Subsystem verfügt über ein eingebautes Vision-Tool, das optische Sensoren verwendet, um die Position und Orientierung des Substrats zu überwachen, um eine Ausrichtung mit der Elektrode zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die Kammer über einen automatisierten Plasma-Monitor und eine Steuerung, die Plasmen sowohl im Vorätz- als auch im Nachätzbetrieb verfolgt und reguliert. Die LAM RESEARCH Alliance A4 4520 verfügt auch über ein HF-Stromversorgungsmodell mit einer Vielzahl von Leistungsstufen, die für eine Vielzahl von Anwendungen verfügbar sind. Das Werkzeug ist in der Lage, horizontale Flächen mit hoher Maßgenauigkeit zu erzeugen. Es bietet auch eine optionale Hochdosis-Bildgebungsausrüstung für Hochdurchsatz, niedrige Dosis-Bildgebung und ultrahochauflösende Bildgebung. Alliance A4 4520 ist eine ausgezeichnete Wahl für fortgeschrittene Musteranwendungen. Es bietet Präzisionssteuerung mit hohem Durchsatz und ist mit integrierten Automatisierungsfunktionen für hohe Produktivität ausgestattet. Das integrierte Wafer Handling System, das automatisierte Plasma Monitor und Steuergerät sowie die HF Power Delivery Maschine machen diesen Ätzer zu einem effizienten und zuverlässigen Werkzeug zum Ätzen.