Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9072558 zu verkaufen
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ID: 9072558
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Poly etcher, 8"
Cassette: plastic, 8"
Wafer shape: SNNF
SMIF interface: no
System Information:
Platform: Alliance 4.1
Process chamber qty: 3
Software version: A2.2-018
SECS/GEM: yes
Chambers:
Position 1 (PM1): TCP9400SE / Poly etch
Position 2 (PM2): TCP9400SE / Poly etch
Position 3 (PM3): TCP9400SE / Poly etch
Position 4 (PM4): none
Etch chambers:
Turbo pump EDWARDS STP-A1303CV80
Turbo N2 fixed or MFC Type Fixed
Helium UPC UPC-8130
Endpoint detector No
Pendulum valve model VAT 65046-PH52-ADE
Chamber Manometer MKS E29B-23813
Turbo Manometer MKS 625A-23347
Foreline Manometer MKS 625A-11TD
Helium Manometer yes
Top RF generator model AE / 3155059-026
Bottom RF generator model AE / 3155059-028 (RFG1250 HALO)
TCP Match yes
Bias Match yes
TOP RF Sense Box yes
Bias RF Sense Box yes
Auto Tune Board yes
DIP Board yes
VCI Connected No
Gas Configuration:
Chamber volume used for gas cal: 36200ml
Gas Box:
Type: -
Gas box qty: 3, stacking
Manual valve: yes on each line
Pressure gauge: yes on each line
Regulator: yes on each line
Filter: yes on each line
Gas Panel Pallet:
Gas line qty with N2 purge line 7 lines per chamber
Gas line qty without N2 purge line 0
MFC type UFC-1661 / UFC-1660 / FC-2950MEP5
Gas line (gas name, MFC size):
PM1 SF6 200 / UFC-1660
Line 1 SO2 100 / UFC-1660
Line 2 Ar 200 / UFC-1660
Line 3 O2 100 / UFC-1660
Line 4 He 200 / FC-2950MEP5
Line 5 CF4 200 / FC-2950MEP5
Line 6 NF3 304 / UFC-1661
Line 7 -
Line 8
PM2
Line 1 SF6 200 / UFC-1660
Line 2 SO2 100 / UFC-1660
Line 3 Ar 200 / UFC-1660
Line 4 O2 100 / UFC-1660
Line 5 He 202 / FC-2950MEP5
Line 6 CF4 200 / UFC-1661
Line 7 NF3 405 / UFC-1661
Line 8 -
PM3
Line 1 SF6 200 / UFC-1660
Line 2 SO2 100 / UFC-1660
Line 3 Ar 203 / UFC-1660
Line 4 O2 102 / UFC-1660
Line 5 He 200 / UFC-1661
Line 6 CF4 200 / FC-2950MEP5
Line 7 NF3 315 / UFC-1661
Line 8 -
Mainframe:
Load lock: Dual VCE loader / manual door open
Robot type: BROOKS Model 001-7600-10 with dual aluminum blade
EMO button: front, side
Signal tower: front; G / Y / R
System monitor display: (1), front
Remotes: (2) RPM
EMO button: yes
Line frequency and voltage: 208VAC, 3 phase
Remote UPS interface: yes
UPS: no
Heat Exchanger type:
For cathode: NOAH PRECISION Model 3300: -20ºC to +90ºC
QTY: 3 (not included)
Pumps type:
Transfer Module EBARA A70W, not included in scope of supply
PM1 EBARA A30W, not included in scope of supply
PM2 EBARA A30W, not included in scope of supply
PM3 EBARA A30W, not included in scope of supply
Gas Scrubber: (1) EBARA GTE-3-0WVT, not included in scope of supply
Currently in cleanroom
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE ist eine hochentwickelte Ätz- und Ascheausrüstung, die eine verbesserte Ätz- und Ascheleistung für viele Werkzeuge und Prozesse bietet. Dieser fortschrittliche Ätzer/Ascher verfügt über wiederholbare und konsistente Ergebnisse, um den anspruchsvollsten Anforderungen der Kunden gerecht zu werden. Das System umfasst einen Autolader/Entlader und einen 3-Achsen-Roboterarm zum Be-/Entladen von Wafern und ist damit ideal für die produktivitätssteigernde Automatisierung. Die automatisierte Einheit ermöglicht eine präzise Steuerung der Waferbewegung mit schnellen Zykluszeiten und präziser Methodik. Die Prozesssteuerungssoftware ist auch konfigurierbar, um eine optimierte Genauigkeit bei der Verarbeitung zu gewährleisten. Als Ätz-/Aschemaschine kann die A4- 9400SE verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien von Metallen bis Glas zu behandeln. Das Tool verfügt zudem über eine robuste Stromversorgung und einen Niederspannungseingang, um konsistente und hohe Ergebnisse für Ätz- und Ascheprozesse zu gewährleisten. Mit einer hohen Durchsatzkapazität von bis zu 120 Wafern pro Stunde ist das Asset in der Lage, Volumen und eine enge Prozesssteuerung zu erreichen. Das Modell ist auch mit einer Vielzahl von Werkzeugschnittstellen konzipiert, so dass Kunden die Ausrüstung einfach an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Die LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE bietet auch Echtzeit-Datenüberwachung und -analyse zur Validierung und Problemlösung, sodass Benutzer den gesamten Prozess in Echtzeit überwachen können. Durch umfassenden Schutz und Analyse der Wafer im System können Anwender Prozessparameter anpassen, um Lösungen für maximale Leistung zu korrigieren und zu optimieren. Die Alliance A4 9400SE ist nicht nur eine effiziente und automatisierte Ätz- und Ascheeinheit, sondern bietet auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen und Wartungsfunktionen. Die Maschine umfasst den Schutz vor Verunreinigungen und die schnelle Messung von Wafern sowie eine detaillierte Diagnose und Präzisionskontrolle des Prozesses. Darüber hinaus kann das Werkzeug Wafergeometrie und Dicke messen, was Genauigkeit und Genauigkeit in den Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht. Insgesamt ist ALLIANCE A4 9400 SE ein zuverlässiges, effizientes und präzises automatisiertes Etcher/Asher-Asset, das präzise Steuerung, verbesserte Leistung und Automatisierung mit Echtzeitüberwachung und -analyse kombiniert, um eine effiziente Produktions- und Prozessoptimierung zu ermöglichen. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften ist es das ideale Modell für hochwertige, schnelle und wiederholbare Ätz- und Aschearbeiten.
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