Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 9600 #9204633 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9204633
Etcher
(4) Chambers
Alliance (A4) mainframe
(4) 9600 SE Process modules (Used for metal etch process)
VCE Robotic arm extend drives
Auto door option
Bellows style cassette / Platforms
Wafer aligner
LL Slide sensor
Pre-post alignment
Magnatran 7 robot
PM1 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU Chiller for ESC temperature control
Endpoint detector
With chan A-703 nm chan B 440 nm
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFC5 NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
PM2 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU chiller for ESC temperature control
Endpoint detector
With chan A-703 nm, chan B 440 nm
Endpoint monochonometer
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFCS NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
PM3 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU Chiller for ESC temperature control
Endpoint detector
With chan A-703 nm, chan B 440 nm
Endpoint monochonometer
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFC5 NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
PM4 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP 1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU Chiller for ESC temperance control
Endpoint detector
With chan A-703 nm chan B 440 nm
Endpoint monochonometer
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFCS NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
System peripherals and ancillary components:
Remote AC box (RPM)
Gas boxes per chamber ((4) Stackable)
(4) NOAH POU Chiller model 3500
Cathode cooling and temperature control
Includes:
3500 Controller or equivalent
Auxiliary rack for controllers.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600 ist ein Ätz-/Aschermodul für die Präzisionsbearbeitung großer Substrate. Es verfügt über eine HF-Quelle im Getriebestil, eine Vier-Zonen-Bodenheizplatte und eine große Kammer, die eine schnelle und effiziente Verarbeitung ermöglicht. Der A4 9600 eignet sich ideal für Anwendungen wie das Ätzen von Metallen, Dickschichtsubstraten und dielektrischen Folien. Für Metalle ist der A4 9600 in der Lage, Leistungsdichten bis zu 15w/cm2 bei HF-Frequenzen zwischen 200kHz und 1MHz sowie einen Betriebstemperaturbereich von 200-400 ° C zu liefern. Es verfügt über eine Autostart-Funktion, die eine einfache Bedienereinrichtung ermöglicht. Zusätzlich kann der A4 9600 kalibriert werden, um eine engmaschige Kontrolle der Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und anderer Prozessparameter zu erreichen. Für Dickschichtsubstrate kann der A4 9600 bei Temperaturen bis 400 ° C ätzen. Seine Präzisionsdruckkontrolle ermöglicht eine Feinabstimmung des Prozesses, um feine Eigenschaften zu erzielen. Es ist auch in der Lage, dickere Strukturen als bei herkömmlichen Ätzprozessen zu ätzen. Bei dielektrischen Filmen zeichnet sich der A4 9600 durch kontrolliertes und genaues Ätzen kritischer Merkmale aus. Seine Dual Source-Fähigkeit ermöglicht das gleichzeitige Ätzen verschiedener Folien, während seine enge thermische Kopplung die Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses verbessert. Darüber hinaus kann die HF-Quelle leicht an die Prozessparameter angepasst werden. Insgesamt ist Alliance A4 9600 ein ideales Ätz-/Aschermodul für die Präzisionsbearbeitung großer Substrate. Seine HF-Quelle im Getriebestil, die Vier-Zonen-Bodenheizplatte und die große Kammer bieten eine ausgezeichnete Kontrolle und Gleichmäßigkeit der Prozessparameter. Sein breiter Betriebstemperaturbereich, seine Präzisionsdrucksteuerungsfähigkeiten und seine enge thermische Kopplung machen es zu einer guten Wahl für Dickfilmätzen und dielektrisches Filmätzen.
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