Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #293627729 zu verkaufen
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ID: 293627729
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Etcher, 8"
Process: Metal etch / strip
(2) Chambers
(2) DSQ Strip chambers
(2) Noah 3300 chillers with controllers
(2) Cassette load / unload platens
8-Line gas box
Remote operator system
Remote gas box assembly
Remote power distribution box
Gas used: Boron trichloride, chlorine, sulfur hexafluoride, oxygen, nitrogen, argon
Operating system: Next 3.3
Does not include TM Robot
Missing parts:
Wafer aligner
VCE Board
VME Board
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell für hohen Durchsatz, Zuverlässigkeit und Prozessflexibilität entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu verarbeiten, einschließlich Silizium, III-V-Halbleiter, Glas, Metalle und Keramik. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE verfügt über ein Mehrkammerdesign, das das gleichzeitige Ätzen und Aschen von vertikalen und horizontalen Wafern ermöglicht. Es ist mit vier Prozesskammern mit einer exklusiven Aschestation konfiguriert. Ein einzigartiger „Turbo“ -Modus beschleunigt das Ätzen und Aschen, ermöglicht eine niedrigere Temperaturverarbeitung und reduziert Druckdrifts während der Verarbeitung. Darüber hinaus ermöglichen die Prozessprogramme mit großer Kapazität einen hohen Durchsatz, eine wiederholbare Verarbeitung für kleine und große Serien. Alliance A4 9600SE ist einfach zu bedienen, mit intuitiven Bedienoberflächen und der Möglichkeit, sich mit Multiprozesswerkzeugen zu integrieren. Darüber hinaus bieten die erweiterten Funktionen zur Prozessüberwachung und -kontrolle detaillierte Rückmeldungen zur Prozessleistung und ermöglichen eine manuelle oder automatische Abstimmung der Prozessparameter entsprechend den gewünschten Leistungsergebnissen. ALLIANCE A4 9600 SE Ätzer/Ascher ist hochgradig anpassbar und bietet eine Vielzahl von Prozesskonfigurationen und Optionen, einschließlich Post Etch Clean, Ionenquellen und Quellenleistungspulse, Substratverfolgung und Prozessprotokolle. In Verbindung mit Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Anwendern und Prozessgeräten bietet die LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE erhebliche Vorteile für Anwendungen zum Ätzen und Veraschen mit hohem Volumen. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine einzigartige und flexible Verarbeitungsumgebung bietet, um den Anforderungen jedes Halbleiterherstellungsprozesses gerecht zu werden. Das Mehrkammerdesign, die schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeit, die intuitive Bedienoberfläche und die individuellen Konfigurationen machen es zu einer idealen Wahl für fortschrittliche Prozesse, die hohen Durchsatz und Zuverlässigkeit erfordern.
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