Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098133 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher, der typischerweise in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Dieses Gerät bietet Anwendern eine breite Palette von Optionen für die präzise chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) Planarisierung von integrierten Schaltkreissubstraten (IC) und ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen (oder zu aschen), einschließlich Metall, Dielektrika und Polymere. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE ist in der Lage, eine einheitliche chemische Reaktion auf jedes gemusterte oder unpatterende IC-Wafer bereitzustellen. Das System besteht aus mehreren Prozessmodulen und Komponenten, darunter eine chemische Förder- und Rückgewinnungseinheit, einen Wafer-Handler, eine Roboter/Kassetten-Handhabungsmaschine, ein Gasförderwerkzeug und mehrere Prozesskammern. Die chemische Lieferung und Rückgewinnung kann so konfiguriert werden, dass sie eine Vielzahl von Ätz- und Aschechemikalien liefert, darunter Schwefelsäure, Wasserstoffperoxid und Salzsäure. Das Gasfördermodell steuert Druck und Durchfluss für die Prozesskammern und kann Sauerstoff, Stickstoff, Chlor, Fluor und andere Prozessgase einleiten. Der Wafer-Handler ist der kritischste Teil der Alliance A4 9600SE und für die Übertragung von Wafern zwischen den Prozesskammern und den Roboter-/Kassetten-Handling-Geräten verantwortlich. Die Steuerung des Wafer-Handlers erfolgt über ein eigens entwickeltes Softwarepaket namens „LaserLAB“, das die Möglichkeit bietet, die erforderlichen Parameter für den Ätz- oder Ascheprozess wie Temperatur, Durchfluss, Druck und Belastung durch Prozessgase zu überwachen und einzustellen. ALLIANCE A4 9600 SE verfügt über mehrere integrierte Sicherheitsfunktionen. Beispielsweise befindet sich oberhalb jeder Ätz- oder Aschekammer ein Notabschalter, der bei einer Notsituation wie Übertemperatur, hohem Gasdruck, Stromausfall usw. betätigt werden kann. Darüber hinaus soll das automatisierte System das Risiko einer Exposition gegenüber gefährlichen Chemikalien oder Gasen minimieren, indem eine Entlüftungseinheit eingebaut wird, die für die Entfernung von chemischen Dämpfen oder Prozessgasen aus der Umwelt verantwortlich ist. Insgesamt ist die LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE eine leistungsstarke, automatisierte Ätz- und Aschemaschine, die Anwendern eine effiziente und zuverlässige Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien für die Halbleiterherstellung ermöglicht. Die integrierten Sicherheitsfunktionen des Werkzeugs reduzieren das Risiko einer Exposition gegenüber gefährlichen Chemikalien und Gasen und machen LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE zu einer sicheren und zuverlässigen Plattform für die CMP-Verarbeitung.