Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9161966 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE ist ein Ätzer/Ascher, speziell eine Nassoxid-Ätzer/Ascher-Ausrüstung, die für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Das System ist eine Kombination aus zwei unabhängigen elektrochemischen Prozessen - Ätzen und Aschen mit jeweils eigenen integrierten Prozessleitsystemen und Sicherheitssystemen. Das Gerät ist auf eine hohe Präzision und Gleichmäßigkeit während der gesamten Ätz- und Ascheprozesse ausgelegt. Es verwendet auch eine fortschrittliche Leistungskontrolle, um sicherzustellen, dass die Oxidationsergebnisse präzise und streifenfrei sind. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE verwendet eine chlorbasierte Lösung für den Ätzprozess. Das Chlor wird über eine elektrisch betriebene Flüssigkeitsabgabemaschine mit hochreinem Chlorgas und einer stark gepufferten Natronlauge zugeführt. Diese Chlorlösung wird durch eine speziell konstruierte Reaktionskammer auf das im Vakuum platzierte Substrat mittels fortschrittlicher Vakuumübertragungssysteme gepumpt. Während des Ätzprozesses reagieren die Chlorionen mit dem Halbleiter zu Oxid. Der Oxidaufbau wird durch eine Kombination von in-situ Infrarot- und Flächendetektoren überwacht. Der Aschvorgang nutzt eine Lichtbogenentladung zusammen mit einem speziellen Gasgemisch. Diese Kombination erzeugt einen heißen Plasmastrom, der die Oxidschicht zu einem Dampf umwandelt, der dann aus der Reaktorkammer entfernt wird. Dabei verdampft Oxid aus dem Substrat und kann durch Anpassung der elektrischen Leistung an die Lichtbogen- und Gaszusammensetzung eingestellt werden. Alliance A4 9600SE Ätzer/Ascher-Tool ist mit vielen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich eines integrierten Sicherheitsprotokolls, das Temperatur, Druck und Stromwerte überwacht und regelt. Die Anlage umfasst auch Maßnahmen zum Schutz von Personal, Material und Ausrüstung durch Kontrolle der Umweltbedingungen wie Partikelwerte und Druck, optische Energie und elektrischer Strom. ALLIANCE A4 9600 SE wurde für optimalen Betrieb und Kalibrierung konzipiert und bietet branchenführende Leistung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. Das Ätzer/Ascher-Modell bietet außergewöhnliche Kontrolle, Einheitlichkeit und Genauigkeit und hilft Geräteherstellern, ihrer Konkurrenz einen Schritt voraus zu sein.