Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 #9114097 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A4 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheverarbeitungslösung. Es ist das Vorzeigeprodukt im LAM RESEARCH 'all-ion' -Portfolio, um anspruchsvolle Ätz-/Ascheanwendungen anzugehen. Dieses Produkt wurde entwickelt, um höhere Geschwindigkeit und verbesserte Gleichmäßigkeit im Vergleich zu seinen Vorgängern zu geben. Es ist ein konfigurierbares, Inline-System, das in der Lage ist, eine Reihe von Substraten mit dem höchsten Grad an Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit zu ätzen und zu veraschen. Es hat eine große Kammergröße, die große Substratgrößen aufnehmen kann, bis zu 11 Zoll in Diagonale, um eine hohe Durchsatzproduktion zu ermöglichen. Alliance A4 ist mit einer Hochleistungs-Plasmaquelle ausgestattet, die auch bei hoher Quellenspannung Niederenergieplasma erzeugen kann. Es ermöglicht eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über Ätz-/Ascheprozesse ohne Kompromisse bei Geschwindigkeits- oder Prozessparametern. Sein konfigurierbares Quelldesign ermöglicht die Änderung der Ionenquellenform und -position, um Substrate oder Prozessanforderungen besser zu passen. Es eignet sich gut für Tiefätzen oder Anwendungen mit hoher Selektivität, indem es seine einzigartige Funktion „Reactive Ion Etching“ verwendet. Dies ermöglicht eine äußerst gleichmäßige Verarbeitung in vertikaler Richtung mittels Weitbereichsionensteuerung. Die LAM RESEARCH Alliance A4 verfügt zudem über ein breites Spektrum an Prozesssteuerungs- und Überwachungsmöglichkeiten wie Endpunkterkennung, Nachätz-/Ascheprofilierung, Substratheizung und -kühlung, ein hochauflösendes ChamberView-System sowie voll integrierte Prozesssteuerungsabläufe. Es ist auch in der Lage, Substrate in Einzelwafer- und Clusterwerkzeugen für höhere Produktivität zu verarbeiten. Alliance A4 wurde entwickelt, um die Erträge zu maximieren und den Durchsatz für die schwierigsten Ätz-/Ascheprozesse zu erhöhen. Es kann einfach in Wafer-FAB-Automatisierungssysteme integriert werden und ist für den Betrieb mehrerer Operationen mit minimalen Ausfallzeiten und höherer Produktivität konzipiert. Das System besteht aus robusten Materialien und ermöglicht höchste Leistung und Zuverlässigkeit unter allen Bedingungen. Mit diesen Funktionen kann LAM RESEARCH Alliance A4 Kunden dabei helfen, ein Höchstmaß an Produkt- und Prozessqualität zu erreichen.