Gebraucht LAM RESEARCH Alliance A4 #9138509 zu verkaufen

LAM RESEARCH Alliance A4 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell für den Ätz- und Ascheprozess entwickelt wurde. Der A4 bietet hohe Leistung mit einer einzigartigen Kombination aus Ionen-, Thermo- und optischen Ätzen. Es verfügt über einen schnellen, zuverlässigen und wiederholbaren Prozess mit ausgezeichneter Prozesssteuerung und kontrollierbarer Plasmaenergie. Der A4 verfügt über eine maßgeschneiderte Ionenquelle und erzeugt im Vergleich zu herkömmlichen Ätz-/Aschermodellen deutlich höhere Plasmadichten. Die A4 verfügt zudem über eine große offene Prozesskammer mit höheren Prozessdrücken als andere Ätz-/Aschermodelle. Dies ermöglicht einen höheren Durchsatz und effizientere Ätzraten. Die A4 ist mit einer patentierten, automatisierten Prozesskammer ausgestattet, die CDA (Chemical-Dependent-Aberration) -Technologie verwendet. Diese Technologie hilft, die Kantenvariation geätzter Funktionen zu reduzieren, Ätzfehler zu minimieren und einheitliche Profile zu gewährleisten. Der A4 unterstützt bis zu 8 Rezeptschichten, mit denen mehrere Ätzprozesse gleichzeitig durchgeführt werden können. Die precisionLoadTM Plasmafokus-Ausrüstung bietet stabilere und wiederholbare Ätzraten mit vollständiger Makrosteuerung und -diagnose. Die A4 unterstützt auch eine breite Palette von Prozess-Vorbedingungen und Prozess-Endpunkt Verstimmung. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Prozessüberwachung in situ Prozesssteuerungsfunktionen. Die A4 eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen wie MEMS-Ätzen, 3D-anisotropes Ätzen, erweitertes dielektrisches Interlevel-Ätzen, isotropes Ätzen von Ceria, Halbleiterätzen und mehr. Es unterstützt auch eine Vielzahl von Prozessgasen und ermöglicht es Benutzern, optimierte Ätzrezepte zu erstellen. Der A4 bietet eine universelle Ätzplattform, die mit einer Vielzahl von Materialien kompatibel ist und es Anwendern ermöglicht, eine breite Palette von Prozessschichten für eine Vielzahl von Anwendungen zu ätzen. Um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten, bietet der A4 fortschrittliche Sicherheitsmerkmale wie verriegelte Plasmakammertüren und einen niedrigen HF-Betriebsdruck. Die erweiterte Schaltung des A4 verbessert die Systemzuverlässigkeit und die bordeigene Fehlererkennungseinheit erkennt und meldet schnell mögliche Probleme und ermöglicht schnelle Korrekturmaßnahmen. Die A4 ist eine effiziente, zuverlässige und hochpräzise Ätzmaschine und ideal für den Ätz- und Ascheprozessfluss. Es bietet dramatische Verbesserungen in Durchsatz und Prozeßwiederholbarkeit für anspruchsvolle Halbleiterbauelement-Ätzprozesse.